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本发明涉及的是一种由玻璃和合金材料合成的合成件为基件的用于真空压力测量的电容式压力传感器，它具有很强的牢固性和耐蚀性，为了使其具有很好的灵敏性，高精度地测量出不同压力段的压力值，采用了厚度(10-200微米)不等的，由耐蚀性弹性合金制成的“...
该专利属于戴德仁所有，仅供学习研究参考，未经过戴德仁授权不得商用。

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