带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，包括：一平面电机；和一Z轴电机；所述平面电机包括一X线圈电机和一Y直线无刷电机，分别对应提供X方向和Y方向上的力，Z轴电机提供Z方向上的力。本实用新型专利技术不像是常规的XYZ轴定位系统，无论轴是否耦合或者解耦，其使用了平面电机代替了两个执行器，简化了设计，使它更紧凑。制作一个平面电机的成本也低于制作两个单独的执行器并且更少的材料需求。而且由于本实用新型专利技术所需连接件的减少，也减少了制造和装配的投入，因为在组装时的加工误差，校直误差和堆栈误差也会减少。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种MZ轴贴片系统，其用于微型装置的选择和安装，例如半导体、LED以及光学元件，特别是涉及一种带有减少移动质量的直驱CTZ轴定位系统。
技术介绍
直驱执行器(例如直线电机)近年来已经得到普及，特别是用于制造电子元件和半导体的设备。众所周知，采用直驱的优势是高加速度，高速度，高精度，减少移动质量，没有复杂传输系统的简化设计，同时移动部件与传输机制也没有任何磨损和裂缝，具有较好的可靠性。然而，效果不太明显或不太注意的一个优点就是通过使用直驱增加了运动系统的刚性。没有传输装置例如滚珠丝杆，皮带或者联轴器，直接驱动负载改进了运动系统的刚性。更好的刚性效果导致较短的整定时间，实质上它在运动系统的性能里是一个重要的参数。例如，移动一个负载5mm的短距离并且加速度为6G，位置公差在目标位置上要在正负 10微米里，如果需要17ms时间来完成运动，一个刚性系统可以使整定时间在大约在lms，尽管一个更兼容或者更灵活的系统能使整定时间在10ms，相对于刚性系统来说要10倍的时间。一个柔性系统往往有震动，特别是在运动的结束，系统需要带有非常急剧的减速度而停下。这就是刚性系统和柔性系统性能的不同点本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种带有减少移动质量的直驱ＸＹＺ轴定位系统，其特征在于，包括：一平面电机；和一Ｚ轴电机；所述平面电机包括一Ｘ线圈电机和一Ｙ直线无刷电机，分别对应提供Ｘ方向和Ｙ方向上的力，Ｚ轴电机提供Ｚ方向上的力。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林浩元，吴彩鸣，江永明，廖永平，
申请(专利权)人：雅科贝思精密机电上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31