【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种带有减少移动质量的直驱贴片系统，其用于微型装置的贴片，例如半导体IC封装或者光学器件。
技术介绍
贴片系统在全世界被广泛的使用在自动化应用上。许多不同类型的贴片系统，其中大部分被设计成非常具体的应用。贴片系统的基本功能是来从一个位置取并准确地放置在另一个位置上。大部分常见的贴片应用包括一个垂直运动的轴(Z方向运动)，它由像在 XY平台里另一个X轴或者/和Y轴携带着。在应用中，包含微型装置的贴片，这里也需要增加一个旋转运动(Theta轴)。Z轴运动需要拾起一个零件放置在另一个位置。Theta轴运动需要旋转零件到正确的方向。放置的准确度能从几毫米到几个微米的范围。这样一个贴片操作有时也可能含有其他过程，例如在放置后粘合。一个贴片应用的例子是从晶圆拾起一个半导体晶片，放置在基板上，粘结晶片到基板上。另一个例子用于表面贴装机，零组件是快速贴片在PCB上。有了这么多不同类型的装置，本技术的目的是有Z轴运动和 Theta轴旋转的一个灵活的贴片系统，并且同时也包含一个用于吸放的完整真空系统。系统也被设计成高性能，低移动质量，紧凑的尺寸，高放置精度和良好的动态响应...
【技术保护点】
１．一种带有减少移动质量的直驱贴片系统，其特征在于，该直驱贴片系统包括：一无刷旋转电机（２０）；一无刷直线电机（２２）；一贴片探头（２４）；一真空装置（２６）；一转子（２８）；以及一定子（３０）；无刷直线电机（２２）和无刷旋转电机（２０）分别提供一个直线运动和一个旋转运动，无刷直线电机（２２）、无刷旋转电机（２０）以及贴片探头（２４）结合在一起，探头（２４）沿着垂直轴线从定子（３０）移动，转子（２８）在其轴上旋转贴片探头（２４）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林浩元，吴彩鸣，江永明，廖永平，
申请(专利权)人：雅科贝思精密机电上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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