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本实用新型涉及一种带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，包括：一平面电机；和一Z轴电机；所述平面电机包括一X线圈电机和一Y直线无刷电机，分别对应提供X方向和Y方向上的力，Z轴电机提供Z方向上的力。本实用新型不像是常规的XYZ轴定位系统，无...
该专利属于雅科贝思精密机电(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅科贝思精密机电(上海)有限公司授权不得商用。

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