蚀刻液槽制造技术

技术编号:6945046 阅读:188 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术蚀刻液槽,涉及太阳能电池,尤其涉及制绒蚀刻设备,具有密封槽体,在槽体上有HF加液管、HNO3加液管,在槽体的底部设置有排液管,在排液管设置有支管,槽体底部还设置有溢流管,在槽体的侧壁上设置有液位传感器,在槽体内设置有抽液管,在槽体顶部有溢液管,解决了频繁换药对药液及人力的浪费,使药液可以重复使用,且减少了换药时间,提高了产能;本实用新型专利技术也改善了药液使用初期由于硅酸盐过少导致的反应活性低的问题,使整个反应过程中药液保持较高的活性。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池,尤其涉及制绒蚀刻设备。
技术介绍
由于药液浓度随寿命改变而改变,且溶液内生成的盐,中间产物及硅片带来的脏污使得药液活性变差,目前采用的是定期将药液寿命进行更换。目前的清洗工艺主要是利用HF和HN03与SI反应达到制造绒面,刻蚀边缘的效果,现在的清洗设备主要是利用计算得出每片硅片需要的HN03和HF的量,利用滴定阀进行自动补加,保证溶液正常生产,由于生成物原硅酸等越来越多,在药液寿命后期,会阻碍反应正向进行,药液活性降低。定期更换药液,优点使溶液保持较好的药液活性;缺点由于定期更换新药,造成物料的浪费,且更换药液需要3-5h,对产能造成一定影响。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术中之不足,提供一种蚀刻液槽。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种蚀刻液槽,具有密封槽体, 在槽体上有HF加液管、HNO3加液管,在槽体的底部设置有排液管,在排液管设置有支管,槽体底部还设置有溢流管,在槽体的侧壁上设置有液位传感器,在槽体内设置有抽液管,在槽体顶部有溢液管。本技术的有益效果是本技术解决了频繁换药对药液及人力的浪费,使药液可以重复使用,且减少了换药时间,提高了产能;本技术也改善了药液使用初期由于硅酸盐过少导致的反应活性低的问题,使整个反应过程中药液保持较高的活性。以下结合附图和实施方式对本技术进一步说明。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。一种TANK液槽,具有密封槽体,在槽体上有HF加液管5、HNO3加液管6和加水管 7,在HF加液管5、HNO3加液管6和加水管7设置有单向阀,在槽体的底部设置有排液管2, 在排液管2设置有支管1,在排液管2和支管1设置有单向阀,槽体底部还设置有溢流管3, 溢流管3设置有单向阀,在槽体的侧壁上设置有液位传感器10,在槽体内设置有抽液管9和回液管8,抽液管9和回液管8上设置有泵,在槽体顶部有溢液管4。上述实施方式只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并加以实施,并不能以此限制本技术的保护范围, 凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蚀刻液槽,具有密封槽体,其特征在于:在槽体上有HF加液管、HNO3加液管,在槽体的底部设置有排液管,在排液管设置有支管,槽体底部还设置有溢流管,在槽体的侧壁上设置有液位传感器,在槽体内设置有抽液管,在槽体顶部有溢液管。

【技术特征摘要】
1. 一种蚀刻液槽,具有密封槽体,其特征在于在槽体上有HF加液管、HNO3加液管,在槽体的底部设置有排液管,在排...

【专利技术属性】
技术研发人员:王倩
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
类型:实用新型
国别省市:32

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