一种坩埚遮热板制造技术

技术编号:6942488 阅读:261 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种坩埚遮热板,属于坩埚炉部件技术领域,包括内孔,所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。本实用新型专利技术易安装,密封性好,保温效果好;可降低工作环境温度,改善操作人员的工作环境。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术为一种遮热板,特别涉及一种制作石英坩埚的坩埚遮热板,属于坩埚炉部件

技术介绍
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。现在制作石英坩埚时所使用的石英坩埚遮热板,由4块方形板组成,中间形成一个方形的孔,不易安装;4块方形板之间缝隙大,密封性差,保温效果差,且造成工作环境温度高。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术中,坩埚遮热板不易安装,密封性差,保温效果差,且造成工作环境温度高的缺陷,提供了一种坩埚遮热板,可达到易安装,密封性好, 保温效果好,且可降低工作环境温度的目的。为了实现上述目的本技术采取的技术方案是一种坩埚遮热板,包括内孔,所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口 ;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。所述圆形内孔的直径为27cm。与现有技术相比,本技术的有益效果是(1)易安装,密封性好,保温效果好;(2)可降低工作环境温度,改善操作人员的工作环境。附图说明附图1 前遮热板和后遮热板对合后示意图;附图2 前遮热板和后遮热板分开后示意图;附图3 前遮热板和后遮热板使用状态主视图;附图4 前遮热板和后遮热板使用状态左视剖视图;附图标记说明1前遮热板、11前半圆缺口、2后遮热板、21后半圆缺口、3内孔。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,但不作为对本技术的限定。如图1-4所示,一种坩埚遮热板,包括内孔,所述坩埚遮热板包括前遮热板1和后遮热板2,所述前遮热板1包括前半圆缺口 11,所述后遮热板2包括后半圆缺口 21 ;前遮热板1和后遮热板2对合设置,前半圆缺口 11和后半圆缺口 21相对应,形成一个圆形内孔3 ;圆形内孔的直径为27cm。 以上所述的实施例,只是本技术较优选的具体实施方式的一种,本领域的技术人员在本技术技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本技术的保护范围内。权利要求1.一种坩埚遮热板,包括内孔,其特征在于所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口 ;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为 25_30cmo2.根据权利要求1所述的一种坩埚遮热板,其特征在于所述圆形内孔的直径为27cm。专利摘要一种坩埚遮热板,属于坩埚炉部件
,包括内孔,所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。本技术易安装,密封性好,保温效果好;可降低工作环境温度,改善操作人员的工作环境。文档编号F27B14/10GK202066350SQ20112016491公开日2011年12月7日 申请日期2011年5月13日 优先权日2011年5月13日专利技术者王定永, 王文庆 申请人:宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种坩埚遮热板,包括内孔,其特征在于:所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王文庆王定永
申请(专利权)人:宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司
类型:实用新型
国别省市:33

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