【技术实现步骤摘要】
本技术为一种遮热板,特别涉及一种制作石英坩埚的坩埚遮热板,属于坩埚炉部件
技术介绍
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。现在制作石英坩埚时所使用的石英坩埚遮热板,由4块方形板组成,中间形成一个方形的孔,不易安装;4块方形板之间缝隙大,密封性差,保温效果差,且造成工作环境温度高。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术中,坩埚遮热板不易安装,密封性差,保温效果差,且造成工作环境温度高的缺陷,提供了一种坩埚遮热板,可达到易安装,密封性好, 保温效果好,且可降低工作环境温度的目的。为了实现上述目的本技术采取的技术方案是一种坩埚遮热板,包括内孔,所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口 ;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。所述圆形内孔的直径为27cm。与现有技术相比,本技术的有益效果是(1)易安装,密封性好,保温效果好;(2)可降低工作环境温度,改善操作人员的工作环境。附图说明附图1 前遮热板和后遮热板对合后示意图;附图2 前遮热板和后遮热板分开后示意图;附图3 前遮热板和后遮热板使用状态主视图;附图4 前遮热板和后遮热板使用状态左视剖视图;附图标记说明1前遮热板、11前半圆缺口、2后遮热板、21后半圆缺口、3内孔。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,但不作为对本技术的限定。如图1-4所示,一 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚遮热板,包括内孔,其特征在于:所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板,所述前遮热板包括前半圆缺口,所述后遮热板包括后半圆缺口;前遮热板和后遮热板对合设置,前半圆缺口和后半圆缺口相对应,形成一个圆形内孔;圆形内孔的直径为25-30cm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王文庆,王定永,
申请(专利权)人:宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司,
类型:实用新型
国别省市:33
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