【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池片生产用装置,尤其涉及一种抽石英腔体里废气的真空泵。
技术介绍
在太阳能电池片生产过程中,经过磷扩散的硅片,不仅在硅片的表面形成了 PN 结,并且硅片的四周边缘也形成了 PN结,四周边缘的PN结会造成电池的短路,通过等离子刻蚀可以将四周边缘的N型层去除掉。该工序利用真空泵对放置硅片的石英腔体进行抽真空,保证石英腔体的压力在100PA左右,使石英腔体里的废气通过真空泵不停地排出腔外。在完成刻蚀后利用真空泵抽离石英腔里的废气,其中废气的主要成分是等离子体,等离子体具有腐蚀性,将等离子体从真空泵排出的时候,容易使真空泵出口的挡板断裂,从而影响真空泵的正常使用和寿命。此外,石英腔体里面的废气会导致真空泵的泵油具有一定的腐蚀性,会使挡片被腐蚀,机械强度受到影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空泵,以解决石英腔中的废气破坏真空泵挡板的问题。为解决上述问题,本技术提出了一种真空泵,所述真空泵包括排气口、不锈钢挡片,所述不锈钢挡片覆盖在所述排气口上,所述不锈钢挡片的一端固定在真空泵上。优选地,所述真空泵还包括一压板,所述压板设置在所述不锈钢挡片上,并与所述不锈钢挡片形成有夹角。优选地,所述夹角为15°。优选地,所述不锈钢挡片的一端通过螺栓固定在所述真空泵上。与现有技术相比,本技术提供的真空泵,其具有的不锈钢挡片覆盖在所述排气口上,由于不锈钢挡片的耐腐蚀性,石英腔中的废气不会对不锈钢挡片造成不良影响,而且不锈钢挡片的机械强度较好能延长真空泵使用的寿命。设置在不锈钢挡片上的压板能控制挡板打开的角度,使不锈钢挡片能够按照设定的角度打开,便于控制排气口的 ...
【技术保护点】
1.一种真空泵,其特征在于,包括排气口、不锈钢挡片,所述不锈钢挡片覆盖在所述排气口上,所述不锈钢挡片的一端固定在真空泵上。
【技术特征摘要】
1.一种真空泵,其特征在于,包括排气口、不锈钢挡片,所述不锈钢挡片覆盖在所述排气口上,所述不锈钢挡片的一端固定在真空泵上。2.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,所述真空泵还包括一压板,所述压板设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:成品奇,李鹏飞,王辉,胥健奇,冯帅臣,张茂胜,
申请(专利权)人:江苏伯乐达光伏有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32
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