【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体生长领域，具体涉及一种测量籽晶熔化面和晶体生长面位置的装置。
技术介绍
在晶体的生长过程中，籽晶的融化程度、晶体大小以及生长速度对晶体生长工艺至关重要。目前在从坩埚底部开始生长晶体的各种工艺中，准确测量籽晶融化程度、晶体大小以及生长速度等问题未能得到有效解决，一般仅凭借经验来估计相关数据，显然所得到的数据并不准确，这对晶体的生长过程产生了不利影响。
技术实现思路
为了克服现有技术中从坩埚底部开始生长的晶体在生长过程中难以准确测量晶体位置的问题，本专利技术的目的在于提供一种结构简单、紧凑，能实时准确测量晶体生长过程中的装置。本专利技术的技术方案是一种测量晶体位置的装置，其技术特点是包括至少一直线导轨、在直线导轨上滑动的滑动体、至少一密封管，所述滑动体上设有至少一磁体，所述密封管内腔设有至少一与所述磁体同步移动的移动体，所述移动体与至少一测量杆连接。所述磁体与移动体为相吸或相斥作用状态。所述直线导轨与测量杆平行方向设有一标尺。所述密封管为石英管或陶瓷管或不锈钢管。所述测量杆为钼杆或钨杆。所述移动体为磁体或铁或镍。本装置安装于炉体上部，其密封管内腔与炉体内腔连通，且必要时测量杆下端可与晶体接触。当籽晶开始熔化或晶体由籽晶外表面开始生长时，炉体内坩埚底部籽晶上表面下降或晶体生长面上升使与之接触的测量杆下降或上升，测量杆顶部移动体的位置同步下降或上升，由于磁力的作用，滑动体上的磁体的位置随移动体相应下降或上升，进而使得与磁体固连的滑动体的位置沿直线导轨方向下降或上升，此时通过标尺刻度与基准刻度比对，从而测量晶体熔化程度或晶体生长高度。本专利技术密封管...
【技术保护点】
１． 一种测量晶体位置的装置，其特征是：包括至少一直线导轨、在直线导轨上滑动的滑动体、至少一密封管，所述滑动体上设有至少一磁体，所述密封管内腔设有至少一与所述磁体同步移动的移动体，所述移动体与至少一测量杆连接。
【技术特征摘要】
1.一种测量晶体位置的装置，其特征是包括至少一直线导轨、在直线导轨上滑动的滑动体、至少一密封管，所述滑动体上设有至少一磁体，所述密封管内腔设有至少一与所述磁体同步移动的移动体，所述移动体与至少一测量杆连接。2.根据权利要求1所述的一种测量晶体位置的装置，其特征是所述磁体与移动体为相吸或相斥作用状态。3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐敬，周世才，
申请(专利权)人：江苏金泰隆机电设备制造厂，
类型：发明
国别省市：32
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