匣钵的破损检测方法技术

本发明专利技术提供一种不设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间也能够高精度地检测破损前阶段的裂纹的匣钵的破损检测装置。在负压空间形成单元(1)的支撑板(12)上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵(4)，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵(4)的罩(3)与该支撑板(12)的上面相密合，在负压空间形成单元(1)的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元(1)内部的喷嘴(2)从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩(3)的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵(4)是否破损。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
在对电子工业制品的原料粉体进行烧成时，通常在称为匣钵的窑具(kiln furniture)的内部放入粉体并进行烧成(例如，专利文献1)。在工业生产中进行连续烧成， 从形成有规定的烧成温度曲线的连续炉的一端向炉内依次放入匣钵，并在炉内移动的同时进行烧成，然后从另一端取出。就从烧成炉的另一端取出的匣钵而言，除了通过粉体回收工序、空匣钵的清洁工序以及空匣钵的破损等老化检测工序来检测到破损等老化的匣钵之外，再次用作新的原料粉体烧成用匣钵。在现有技术中的老化检测工序中，对匣钵的4个侧面和底面的各面分别进行激光传感器扫描测定，所以需要设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间，所以存在粉体烧成用设备的整体结构变得复杂的问题。另外，激光传感器扫描测定是根据所投射的激光在该激光传感器与匣钵之间往复的时间来计测距离的测定，具有无法测定破损前阶段的裂纹(例如，0.5mm左右的裂纹)的缺陷。进而，在进行激光传感器扫描测定时，不是测定匣钵的整个面，而是以容易发生老化的部位为中心照射激光，所以也可能会发生漏检，所以存在检测精度变差的问题。现有技术文献(专利文献)专利文献1 JP特开2009-292704号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种不设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间也能够高精度地检测破损前阶段的裂纹的。用于解决上述问题的本专利技术的的特征在于，在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下， 利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩内的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损。若采用本专利技术的，则在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损，由此也能够高精度地检测在现有的激光传感器扫描测定中检测不到的破损前阶段的裂纹。另外，若采用上述结构，则在清除附着于匣钵内部的粉体的同时还能够检测匣钵的老化，所以能够省略在现有的老化检测中所需的具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间，从而能够缩短工序。附图说明图1是用于说明在本专利技术的中使用的装置的剖视图。图2是用于说明图1的使用状态的图。附图标记说明1负压空间形成单元11空气抽吸单元12支撑板13粉体排出口2 空气喷射单元21 气缸22气密填料3 罩31气压测定单元4 匣钵5密封件具体实施例方式下面，示出了本专利技术的优选实施方式。图1是用于说明在本专利技术的中使用的装置的剖视图，图2是用于说明图1所示装置的使用状态的图，而且，在各附图中，1表示负压空间形成单元，2表示空气喷射单元，3表示罩，4表示匣钵。在经过烧成工序后从烧成炉的另一端取出的匣钵内的粉体，通过匣钵的翻转、借助粉体抽吸装置的抽吸等方法来从匣钵4得以回收。如图1所示，回收了粉体后的空匣钵 4配置在负压空间形成单元1的支撑板12的上部，而且该空匣钵4的开口部朝下。负压空间形成单元1和匣钵4的开口部具有中间夹着密封件5相密合的结构。负压空间形成单元 1的形状为漏斗状，在上端部具有空气抽吸单元11，在下端部具有粉体排出口 13。另外，负压空间形成单元1在内部空间具有空气喷嘴等空气喷射单元2，能够利用该空气喷射单元2 来向匣钵4的内部喷射空气。空气喷射单元2具有借助气密填料22能够在负压空间形成单元1的内部空间滑动的结构，并具有用于实现滑动操作的气缸21。在本专利技术中，如图1所示，在负压空间形成单元1的支撑板12上支撑配置匣钵4， 并在该支撑板12的上面设置能够容纳匣钵的罩3，该罩3借助密封件5与该支撑板12相密合。利用气压测定单元31来测定罩的内压。在本专利技术中，在空气抽吸单元11开始抽吸空气以使负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元1内部的空气喷射单元2从下方向匣钵4 内部喷出空气，从而清除附着在匣钵4内部的粉体，同时对罩3的内压进行测定，根据该内压的变动来检测匣钵是否破损。就被清除的粉体而言，根据其重量，轻的粉体被空气抽吸单元11抽吸，而未被抽吸的粉体掉落在底部的料斗(hopper) 12上。负压空间形成单元1的形状为下侧像漏斗那样变细的漏斗状，具有容易使粉体在下部聚集的结构。在空气抽吸及空气喷射停止后，通过对料斗下部的开闭操作，能够从粉体排出口 13排出在料斗的下部堆积的粉体中的必要量的粉体。在匣钵4未发生漏气的正常情况下，不管空气抽吸单元11的空气抽吸状态如何， 罩3的内压始终都维持大气压。另一方面，在因匣钵4上的裂纹破损等而发生漏气的情况下，若空气抽吸单元11开始抽吸空气以使匣钵的开口部的对置空间变为负压空间，则在该负压空间和罩3内部之间发生气体分子的扩散，与此相伴，通常维持大气压的罩3的内压降低。也就是说，若采用本专利技术的结构，则也能够高精度地检测在现有的激光传感器扫描测定中检测不到的破损前阶段的裂纹。另外，若采用上述结构，则在清洁工序中还能够同时进行老化检测，所以能够省略掉在现有技术的老化检测所需的具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间，从而能够缩短工序。权利要求1. 一种，其特征在于，在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩内的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损。全文摘要本专利技术提供一种不设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间也能够高精度地检测破损前阶段的裂纹的匣钵的破损检测装置。在负压空间形成单元(1)的支撑板(12)上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵(4)，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵(4)的罩(3)与该支撑板(12)的上面相密合，在负压空间形成单元(1)的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元(1)内部的喷嘴(2)从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩(3)的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵(4)是否破损。文档编号G01N7/00GK102243159SQ20111010025公开日2011年11月16日 申请日期2011年4月20日 优先权日2010年5月10日专利技术者野入一二夫, 青木道郎 申请人:日本碍子株式会社本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种匣钵的破损检测方法，其特征在于，在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩内的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野入一二夫，青木道郎，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP