一种调校治具制造技术

本发明专利技术公开了一种调校治具，至少包括第一、第二、第三柱状型刻度器，第二柱状型刻度器设置于相对第一柱状型刻度器的位置，第三柱状型刻度器设置于第一和第二柱状型刻度器之间且位于两者的后方处；其中第一、第二和第三柱状型刻度器具有相同规格的刻度指针，当调校治具置放于一平台上时，可配合一线性检测源以量测平台的一水平位置。在一应用例中，调校治具可包括四组柱状型刻度器。通过调整平台，使检测源的直线光落在该些组柱状型刻度器上的刻度指标一致，以使传送手臂和平台达到一相对水平状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种调校治具，且特别是有关于一种用以调整一传送手臂和一平台之间的相对水平的调校治具。
技术介绍
液晶显示器已是与人们生活息息相关、不可或缺的必备产品。其应用面可概分为 5大类(1)视频显示器，例如数字相机、数字摄像机、打印机、手机、携带型数字影像显示器(DVD)、车用配备；( 通用显示器，例如工业应用计算机、数字显示产品、网路电子产品；可携显示器，例如笔记型计算机(NoteBook)、超轻薄笔记型计算机；(4)桌上显示器， 例如个人计算机(Personal Computer)显示器、监视器(Monitor) ； (5)电视显示器，例如个人电视、家庭电视。而制造液晶显示器所需的基板则可依大小分类成三种符合笔记型计算机及监视器所使用12" 基板，称为中尺寸面板；符合电视显示器所使用沈“ 47" 基板，称为大尺寸面板；以及Array工艺 ODF工艺未切割的基板，称为母板。不论是何种尺寸基板的制造，因其设备投资金额庞大，相对的产能要求相当严苛。所以全厂的物流传输几乎90%使用自动化设备，例如搭配计算机整合制造(Computer Integrated Manufacturing, CIM)进行物流控制，以期能提高主工艺机台的设备稼动率 (Equipment utilization)，其相关工艺设备及自动化规划亦臻成熟。如相关领域者所知，各工艺的开始和结束都是加载机(Loader)及载出机 (Unloader)做开端与收尾。此设备是利用以机械手臂将基板从卡匣(Cassette)取出并载入(Loading)给工艺机台或将工艺机台完成的基板载出(Unloading)装填回卡匣，而完成自动化传输。而厂内工艺间的传送可依基板尺寸而定，若是中小型尺寸面板，可由人工做后续的搬送，若是大尺寸面板及Array ODF的母板，因卡匣变大变重很难再使用人工搬送，改由无人搬运车(Automated guided vehicle, AGV)或轨道式输送车(fciilguided vehicle, RGV)于不同工艺机台间接驳，另外也可搭配人工使用手动搬运车移动(Manual guided vehicle, MGV)以应付例外狀况。不论是中小型尺寸面板、大尺寸面板或母板，其基板都需注意包括基板搬送、夹持、储存、清洁以及任何基板与周边的相互影响等问题，以避免造成基板承受撞击、压迫、偏转、振动、污染、静电等等不良危害。在众多液晶显示器设备当中，加载/载出机扮演着承先启后的角色，在每天好几千片基板取/放到机台、卡匣的过程中，都不可有任何闪失，哪怕是一点点的小摩擦，就有可能让所有完成的工艺前功尽弃。于是扮演将基板从卡匣取出或加载角色的机械手臂，其质量和取载过程是否对位准确显得格外重要。图1是绘示卡匣与传送机构的示意图。如图1所示，在传送系统中，机械手臂11由其腕部(Wrist) 111做固定支撑，再以牙叉(Fork) 113深入平台(Mage) 12上的卡匣14内将基板(例如晶圆)142 —一取出后移至另一位置，例如一晶舟盒(Boat，未显示)里，为进行后续工艺(如进入高温炉管进行相关化学反应)作准备。当工艺完毕后，可再利用机械3手臂11将工艺后的基板自晶舟盒一一取出并放回卡匣14。在机械手臂设计上可以是单支、 2支、3支、4支、5支牙叉等等。如图1所示，机械手臂11设计了 5支牙叉113，可同时进行 5片基板142的取放动作。图2是绘示单一牙叉传送基板的示意图。当牙叉113深入卡匣 14内取/放基板142，移动过程中通过牙叉113上的多个真空吸盘(Vacuum pad) 1131让基板142与牙叉113之间不会产生相对滑动，待机械手臂到达确定的置放位置(如晶舟盒、卡匣或工艺机台的确定位置)时再开启或解除真空，以做基板142的取/放。在牙叉113取 /放基板142的过程中，是否对位准确避免刮伤基板是十分重要的基本步骤。图3是绘示牙叉在两基板之间倾斜前进的示意图。其中，两相邻的基板Wl和W2 具有一间距d，线H与基板Wl和W2呈相对水平，当机械手臂的牙叉113其前进方向与相对水平线H呈一夹角θ，以六时晶圆来说，间距d约4mm，当θ超过0. 5度就会造成基板刮伤。目前是以人员站在卡匣前方透过肉眼观察的方式，来判断在进入卡匣内取/放基板时， 牙叉是否与基板成相对水平，以避免伸入后刮伤基板。特别是机械手臂具有多支牙叉时，若没有校正至与基板成完全水平，可能一次取/放就会刮伤多片基板。然而，利用目视方式确认传送手臂间距与产品是否会摩擦，易有标准不一与目视角度不同的差异，其准确度很低，往往调校完成后产品刮伤事件依旧时有所闻。尤其是基板之间的间距非常小，即使从卡匣前方看起来是似乎水平，但略略偏移的牙叉113可能在伸入至基板后方处因位置过高或过低而碰触或刮伤基板，造成浪费。再者，一旦产生刮伤，相关人员必须耗费许多时间和精力去一一仔细检查，对于位置摆放较低的卡匣，在肉眼比对上更是困难。因此，整个传统的比对过程十分不方便，又不能达到绝对精确的对位效果，无法有效且迅速的解决问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种调校治具，应用调校治具的柱状型刻度器与检测直线光源投影的方式，可准确地将传送手臂与产品调整成相对水平，可有效防止基板刮伤产生。其校正方法简单快速，可降低制造成本和保有高产品良率，在应用上极富经济价值。根据本专利技术，是提出一种调校治具，至少包括第一、第二、第三柱状型刻度器，第二柱状型刻度器设置于相对第一柱状型刻度器的位置，第三柱状型刻度器设置于第一和第二柱状型刻度器之间且位于两者的后方处；其中第一、第二和第三柱状型刻度器具有相同规格的刻度指针，当调校治具置放于一平台(Mage)上时，可配合一线性检测源以量测平台的一水平位置。在一应用例中，调校治具包括四组柱状型刻度器。根据本专利技术，还提出一种校正方法，是用以调整一传送手臂和一平台之间的相对水平，包括步骤如下在传送手臂上水平设置一线性检测源；置放一调校治具于平台上，调校治具至少包括三组柱状型刻度器，其中两组是相对设置，另一组则设置于该两组柱状型刻度器之间且位于后方处，该些组柱状型刻度器具有相同规格的刻度指针；令线性检测源朝调校治具发出一直线光，并观查直线光落在该些组柱状型刻度器上的刻度指标；和调整平台，使直线光落在该些组柱状型刻度器上的刻度指标一致，以使传送手臂和平台达到一相对水平状态。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式，作详细说明如下附图说明图1是绘示卡匣与传送机构的示意图。图2是绘示单一牙叉传送基板的示意图。图3是绘示牙叉在两基板之间倾斜前进的示意图。图4为本专利技术一实施例的调校治具设置在平台上的示意图。第5A、5B、5C图分别绘示图4之前视图、侧视图和上视图。图6是绘示本专利技术实施例的利用调校治具进行校正的示意图。主要元件符号说明11 机械手臂111 腕部113、513:牙叉12,42 平台14 卡匣142、W1、W2:基板45:调校治具451 第一柱状型刻度器、452 第二柱状型刻度器、453 第三柱状型刻度器454:第四柱状型刻度器457:固定器4571 第一支架4572 第二支架4575 螺丝d 相邻基板Wl、W2的间距θ 夹角Ll 第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种调校治具，其特征在于，至少包括：一第一柱状型刻度器；一第二柱状型刻度器，设置于相对该第一柱状型刻度器的位置；和一第三柱状型刻度器，设置于该第一和该第二柱状型刻度器之间且位于两者的后方处；其中，该第一、该第二和该第三柱状型刻度器具有相同规格的刻度指针，当该调校治具置放于一平台（Ｓｔａｇｅ）上时，可配合一线性检测源以量测该平台的一水平位置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：出永川，林峻宏，林世宗，陈忠翔，
申请(专利权)人：旺宏电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71