超纯氨大流量汽化恒压供气系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种超纯氨大流量汽化恒压供气系统，其整体结构是液氨源的液相管路接入空温式汽化器，空温式汽化器设有一路回气管线接至原料源的气相管线上，空温式汽化器的主管线接入后续的水浴式汽化器，水浴式汽化器的进水口接有为其提供热源的空气源热泵热水装置，水浴式汽化器的出口管线接入调压系统，调压系统的压力和流量由自动控制系统控制调整，由调压系统输出经气化的恒压的氨。使用本实用新型专利技术在较大流量状态下对超纯液氨汽化，可以达到供气压力稳定，汽化过程所需能耗低等优点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种大宗气体的供气系统，特别涉及一种超纯氨大流量汽化恒压供气系统。
技术介绍
电子级的超纯氨作为一种重要的工业基础原材料，在半导体发光器件(LED)、太阳能电池、半导体集成电路(IC)及液晶显示器(LCD)等行业得到越来越多的应用。在全球关注低碳经济模式的背景下，我国的LED及太阳能行业有了爆发式的增长，行业中的单体工厂设计产能都远远超过当前世界已有的规模。像LED行业中全球的单体工厂的对超纯氨的当前用量规模，供应最大的流量不超过100Nm3/h。而仅在中国大陆当前在建的对超纯氨的流量需求超过400 NmVh的LED单体工厂已有多个。当前应用的大宗气体供应技术(BSGS系统)中，对超纯氨的三种液氨罐(Y瓶、T瓶、ISO槽车)现场汽化供气的模式如下权利要求1.一种超纯氨大流量汽化恒压供气系统，其特征是该系统包括了液氨源、空温式汽化器、水浴式汽化器、热泵热水系统、调压系统和自动控制系统，其中液氨源的液相管路接入空温式汽化器，空温式汽化器设有一路回气管线接至原料源的气相管线上，空温式汽化器的主管线接入后续的水浴式汽化器，水浴式汽化器的进水口接有为其提供热源的空气源热泵热水装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种超纯氨大流量汽化恒压供气系统，其特征是该系统包括了液氨源、空温式汽化器、水浴式汽化器、热泵热水系统、调压系统和自动控制系统，其中液氨源的液相管路接入空温式汽化器，空温式汽化器设有一路回气管线接至原料源的气相管线上，空温式汽化器的主管线接入后续的水浴式汽化器，水浴式汽化器的进水口接有为其提供热源的空气源热泵热水装置，水浴式汽化器的出口管线接入调压系统，调压系统的压力和流量由自动控制系统控制调整，由调压系统输出经气化的恒压的氨。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，刘斌，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32