一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法，其主要是将一定的摩尔比的醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯溶于醋酸、乙二醇甲醚和乙酰丙酮溶液中分别配制成钡、锶比例不同的稳定前驱胶体，然后在硅基铂金等基片上交替进行匀胶、热处理，直到所需的厚度为止。本发明专利技术采用化学溶液沉积方法制备这一钛酸锶钡多层膜结构，获得了具有高调谐率和低的介电损耗的薄膜材料，可应用于微波调谐器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于功能信息材料领域。
技术介绍
钛酸锶钡(BaxSivxTiO3, BST)薄膜材料由于其优越的介电性能，在下一代动态随机存储器、微波调谐器件等方面具有广泛的应用前景。与众多的制备方法相比， 化学法具有均勻性好、化学计量比容易控制，设备简单等诸多优点，目前已被广泛用于薄膜材料的制备。近年来，已有很多关于采用化学法制备钛酸锶钡薄膜材料的报导， 如,Synthesis and dielectric characteristic of Ba1_xSrxTi03thin films-based strontium-barium alkoxides derivatives”，MaterialsChemistry and Physics. 69， 166 ；“Chemical mechanical polishing OfBa0 6Sr0 4Ti03 film prepared by sol-gel method，，，MicroelectronicEngineering 75，149 ；“Chemical solution deposition of<100>-本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种钛酸锶钡多层薄膜，其特征在于：钛酸锶钡多层薄膜是在基片Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ上以Ｂａ０．５Ｓｒ０．５ＴｉＯ３和Ｂａ０．７Ｓｒ０．３ＴｉＯ３的先后顺序制备两个周期，构成（Ｂａ０．７Ｓｒ０．３ＴｉＯ３／Ｂａ０．５Ｓｒ０．５ＴｉＯ３）２／基片形式的多层膜结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：常青，戴建明，朱雪斌，吴大俊，张伟杰，孙玉平，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：34