【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种干式真空泵装置，其包括：多级变容干式真空泵，其具有在最后一级内用于排出气体的末端出口，和在中间级内用于排出过度压缩气体的中间释放出口；排气段止回阀，其与所述末端出口连接并具有出口；中间段止回阀，其与所述中间释放出口连接并具有出口；排气通道，其与所述排气段止回阀的出口和所述中间段止回阀的出口连接；和消音器，其与所述排气通道连接，并具有与通气至大气的末端排气通道连接的出口。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊东一磨，臼井克明，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：JP
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