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本发明涉及一种干式真空泵装置，其包括可以减小尺寸的消音器，以用于有效地在从低到高频率的宽频率范围内降低从干式真空泵的末端出口和中间释放出口排出气体的噪音。干式真空泵装置包括干式真空泵(10)，其具有末端出口(18)和中间释放出口(19)、连...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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