【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种紫外激光精密打标装置，用于半导体封装领域晶圆级打标。
技术介绍
激光打标是利用高能量密度的激光对工件进行局部照射，使表层材料汽化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记的一种打标方法。激光打标有雕刻和掩模成像两种方式，掩模式打标用激光将模版图案成像到工件表面而烧蚀出标记，雕刻式打标是一种高速全功能打标系统，激光束经二维光学扫描振镜反射后经平场光学镜头聚焦到工件表面，计算机控制下按设定的轨迹使材料汽化，可以打出各种文字、符号和图案等，字符大小可以从毫米到微米量级，激光标记是永久性的不易磨损，这对产品的防伪有特殊的意义，已大量用于电子元器件、集成电路打商标型号、给印刷电路板打编号等。激光打标技术已被广泛的应用于各行各业，为优质、高效，无污染和低成本的现代加工生产开辟了广阔的前景。随着现代激光标刻应用领域的不断扩展，对激光制造的设备系统小型化，高效率和集成化的要求也越来越高。近年来紫外波段激光技术发展很快，由于材料在紫外波激光作用下发生电子能带跃迁，打破或削弱分子间的结合键，从而实现剥蚀加工，加工边缘十分齐整，因此在激光标记技术中异军突起，尤其...
【技术保护点】
１．紫外激光精密打标装置，包括激光器和扩束镜，其特征在于：所述激光器为紫外调Ｑ固体激光器，紫外调Ｑ固体激光器的输出端设置扩束镜，所述扩束镜的输出端布置有扫描振镜，所述扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有二维移动平台；所述紫外调Ｑ固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经扫描振镜后进入聚焦镜，聚焦镜聚焦后的光束焦点位于二维移动平台的加工工件上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，汪昊，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，江阴德力激光设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。