化学试剂容器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学试剂容器，所述化学试剂容器包括：容器主体、设置于所述容器主体内的气囊以及控制系统，所述控制系统可根据所述容器主体内的液位控制所述气囊振动，避免容器主体内的化学试剂结晶；并且，由于充分搅动了化学试剂，可避免化学试剂存留在容器主体的边角内，有利于抽取化学试剂，提高化学试剂的利用率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种化学试剂容器。
技术介绍
在集成电路制造领域，在某些工艺步骤后，通常会在晶圆表面留下污染物，所述污染物包括有机化合物、金属杂质或颗粒等，这些污染物对于产品后续工艺的影响非常大。例如，颗粒的附着会影响光刻工艺图案转移的真实性，甚至会造成电路结构的短路。因此，在半导体器件制造过程中，除了要排除外界的污染源外，还需要频繁的进行晶圆清洗工作，所述晶圆清洗工作需要使用多种化学液体，例如，硫酸、氢氟酸、双氧水等化学试剂。此外，在化学机械研磨、光刻、检测等工艺也需要使用到各种化学试剂。这些化学试剂通常会存储在化学试剂容器内，再通过分配管路分配到各个机台。目前，所使用化学试剂容器多为配套的圆桶型的容器，如图1所示，将吸入管20插入到容器10的内部，依靠一抽取装置(例如机械泵)将化学试剂从容器抽取到吸入管20 内，再通过分配管路输入到各个生产机台。然而，现有的化学试剂容器存在以下两个缺点首先，当容器内承装的是极易结晶的化学试剂时，在长时间使用后，所述化学试剂将会结晶析出并沉淀在容器10的底部，使得容器10底部的化学试剂浓度高于正常水平，并且结晶体容易被吸入到吸入管内，堵塞吸入管20，影响工艺生产；其次，为了避免吸入管20碰触到容器10底部，而影响抽取化学试剂，因此，所述吸入管通常距容器底部有一些距离，当所述容器内的化学试剂液位较低时， 仅仅依靠抽取装置难以将化学试剂吸入到吸入管内，导致化学试剂浪费。
技术实现思路
本技术提供一种化学试剂容器，以避免化学试剂结晶，并有利于充分抽取化学试剂，提高化学试剂的利用率。为解决上述技术问题，本技术提供一种化学试剂容器，所述化学试剂容器包括控制系统、容器主体以及设置于所述容器主体内的气囊，所述控制系统能够根据所述容器主体内的液位控制所述气囊振动。可选的，在所述的化学试剂容器中，所述控制系统包括设置于所述容器主体上的液位计、与所述气囊连接的气体输入管路、设置于所述气体输入管路上的比例阀门、以及与所述液位计和比例阀门连接的控制器，所述液位计探测容器主体内的液位并将探测信号传输至所述控制器，所述控制器根据所述探测信号控制比例阀门的开度，进而控制所述气囊振动。可选的，在所述的化学试剂容器中，还包括与所述气囊连接的气体排放管路以及设置于气体排放管路上的排放阀门。可选的，在所述的化学试剂容器中，所述排放阀门与所述控制器连接，所述控制器控制所述排放阀门的关闭。 可选的，在所述的化学试剂容器中，所述液位计是浸没式电容液位计，所述浸没式电容液位计的一端伸入到所述容器主体内。 可选的，在所述的化学试剂容器中，所述液位计是超声波液位计，所述超声波液位计设置于所述容器主体的顶部。可选的，在所述的化学试剂容器中，所述控制器是可编程控制器或单片机。可选的，在所述的化学试剂容器中，所述气囊的中央具有凹陷部。可选的，在所述的化学试剂容器中，凹陷部的形状为倒圆锥形或半球形。本技术提供的化学试剂容器包括容器主体、设置于所述容器主体内的气囊以及控制系统，所述控制系统能够根据所述容器主体内的液位来控制所述气囊振动，避免化学试剂结晶；并且，由于充分搅动了化学试剂，可避免化学试剂存留在容器主体的边角内， 有利于抽取化学试剂，提高化学试剂的利用率。附图说明图1为现有的化学试剂容器的示意图；图2为本技术实施例提供的化学试剂容器的示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。具体请参考图2，其为本技术实施例提供的化学试剂容器的示意图，所述化学试剂容器包括容器主体100、设置于所述容器主体100内的气囊110以及控制系统，所述控制系统能够根据容器主体100内的液位控制所述气囊110振动，避免容器主体100内的化学试剂结晶；并且，由于充分搅动了化学试剂，可避免化学试剂存留在容器主体的边角内，有利于抽取化学试剂，提高化学试剂的利用率。其中，所述控制系统包括设置于所述容器主体100上的液位计121、与所述气囊 110连接的气体输入管路122、设置于所述气体输入管路122上的比例阀门123、以及与液位计121和比例阀门123连接的控制器124。在抽取化学试剂的过程中，可将吸入管200伸入到容器主体100的液面内，所述液位计121探测容器主体100内的液位情况，并将探测信号传输至控制器124，控制器124即可根据所述探测信号控制比例阀门123的开度，进而控制气囊110振动，从而确保容器主体100内的化学试剂不会用于长时间静止而结晶；并且，由于充分的混合和振动，可避免化学试剂存留在容器主体的边角内，有利于充分抽取化学试剂。当然，根据实际的需要，气囊110也可停止振动，即控制器IM控制比例阀门123关闭， 从而停止向气囊110充气，即可使气囊110停止振动。在本实施例中，向气体输入管路122输入压缩空气，利用压缩空气控制气囊振动。 可以理解的是，也可向气体输入管路122输入其它气体，例如氮气。进一步的，所述化学试剂容器还包括与所述气囊110连接的气体排放管路125以及设置于所述气体排放管路125上的排放阀门126。当所述气囊110内的气体过多时，可打开排放阀门126，通过气体排放管路125将多余的气体排出。其中，排放阀门1 可以与控制器1 连接，利用控制器124自动控制排放阀门1 的关闭；当然，排放阀门1 也可以是手动控制的阀门，当气囊110内的气体过多时，手动打开该排放阀门126。所述液位计121优选为超声波液位计，所述超声波液位计可设置于容器主体100 的顶部。所述超声波液位计可发射出脉冲超声波，该脉冲超声波经容器主体100内的液面反射后再被该超声波液位计接收，由该脉冲超声波的发射和接收之间的时间，来计算该超声波液位计到容器主体100内的液面的距离，并转换为探测信号传输至控制器124。采用超声波液位计无需与液面接触，即可精确测量化学试剂的液位。可以理解的是，所述液位计121也可以是浸没式电容液位计，所述浸没式电容液位计的一端伸入到容器主体100内，通过与液面的接触来探测容器主体100内的化学试剂的液位。在本实施例中，所述控制器IM是可编程控制器(PLC)，可通过PLC来精确控制比例阀门123的开度，进而控制气囊110的振动幅度和振动频率。当然，在本技术其它具体实施例中，控制器124也可以采用其它运算控制器件来替代，例如，所述控制器124也可以是单片机。较佳的，所述气囊110的中央具有凹陷部111，由于所述凹陷部111的存在，可使化学试剂流入到所述凹陷部111内，有利于充分抽取容器主体100内的化学试剂，进一步避免化学试剂存留在容器主体100的边角内。其中，所述凹陷部111的形状例如为倒圆锥形，其更加有利于化学试剂的流动。当然，本技术的凹陷部还可以是其它形状，例如，半球形。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种化学试剂容器，其特征在于，所述化学试剂容器包括：控制系统、容器主体以及设置于所述容器主体内的气囊，所述控制系统能够根据所述容器主体内的液位控制所述气囊振动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晶，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31