【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于例如频带滤波器及谐振器等的弹性波装置，更详细地说，涉及IDT 电极由含有由Al或Al合金构成的金属膜的层叠金属膜构成的弹性波装置。
技术介绍
目前，作为移动通讯设备的滤波器及谐振器，广泛使用弹性表面波元件。例如，在下述的专利文献1中，公开有图9所示的弹性表面波元件。在弹性表面波 元件101中，在压电基板102上形成有电极103。电极103为从下方开始依次层叠下部Ti 层104、由Mo或W或者它们的金属的合金构成的中间金属层105、上部Ti层106、由Al或 Al合金构成的上部导电层107而成。在此，下部Ti层104的厚度设为IOnm 30nm，中间 金属层105的厚度设为30nm 65nm，上部Ti层106的厚度设为IOnm 30nm。由此，形成 能够提高耐电力性的元件。专利文献1 (日本)特开2006-20134号公报在专利文献1中记载的弹性表面波元件101中，通过层叠上述特定厚度的各金属 层能够提高耐电力性。但是，当放置在耐电力试验、软熔焊接等的高温氛围中时，下部Ti层 104及上部Ti层106中的Ti就会向相邻的金属层扩散。因此，易产生T...
【技术保护点】
１．一种弹性波装置，其具备压电基板、和在所述压电基板上形成的ＩＤＴ电极，所述ＩＤＴ电极由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Ａｌ或Ａｌ基合金构成的第一金属膜、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜、以及配置于所述第一、第二金属膜间的Ｃｕ膜及Ｔｉ膜，Ｃｕ膜及Ｔｉ膜中的Ｃｕ膜配置于第一金属膜侧。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：玉崎大辅，津田基嗣，山崎央，佐伯昌彦，堀川晴信，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP
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