利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置，该装置的标准块固定于第一基底上靠近左侧的位置，微调节架固定于第一基底的右侧；滑动调节片0位于第一基底1上靠近右侧的位置；带有金属刻度线的第二基底一端放置在标准块与第一基底的接触夹角处，另一端悬在滑动调节片的上方；滑动调节片可在微调节架的作用下在第一基底上移动，以调整标准块右侧面与第二基底上表面之间的夹角。本发明专利技术有效提高了每层阶梯高度的控制精度、微阶梯反射镜阶梯表面粗糙度精度、纵向尺寸精度及重复性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置，特别涉及一种利用多个长方 体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置。
技术介绍
具有多个台阶的微反射镜是一种光的反射器件，在光学系统中有着越来越广泛的 应用，如光谱分析、光束整形和光纤耦合等。随着光学系统向体积小、结构紧凑方向发展，光学系统中的器件微型化成为光学 器件的一个重要研究课题，微型光学器件设计与制作水平直接决定光学仪器的性能。目 前，通过二元光学技术可以在石英等多种材料衬底上经过多次光刻和多次腐蚀(干法或湿 法)制备多级阶梯微结构，但是，这种方法存在以下缺点1、因多次套刻，水平精度难以保 证；2、腐蚀或刻蚀深度难以精确控制，精度和重复性较差，因而阶梯高度控制精度低、重复 性差；3、腐蚀或刻蚀出的反射镜表面粗糙度难以满足光学仪器要求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种阶梯高度控制精度高、重复性好，并且能够 保证微阶梯反射镜水平精度和表面粗糙度的利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯 结构的装置。为了解决上述技术问题，本专利技术的利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结 构的装置包括标准块，第一基底，第二基底，微调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置，其特征在于包括标准块（１），第一基底（３１），第二基底（３２），微调节架（７），滑动调节片（２０）；所述标准块（１）固定于第一基底（３１）上靠近左侧的位置，微调节架（７）固定于第一基底（３１）的右侧；滑动调节片（２０）位于第一基底（３１）上靠近右侧的位置；带有金属刻度线（３２４）的第二基底（３２）一端放置在标准块（１）与第一基底（３１）的接触夹角处，另一端悬在滑动调节片（２０）的上方；滑动调节片（２０）可在微调节架（７）的作用下在第一基底（３１）上移动，以调整标准块右侧面（１２）与第二基底上表面（３２１）之间的夹角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁中翥，梁静秋，苏法刚，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82