制造压印模的方法和使用压印模形成图案的方法技术

本发明专利技术涉及制造压印模的方法和使用压印模来形成图案的方法。公开了一种制造压印模的方法。该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀基板，以在基板中形成第一图案；对第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用第二光刻胶图案来刻蚀基板以形成从基板得到的第二图案和从第一图案得到的第三图案。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及制造压印模的方法和使用压印模来形成图案的方法。
技术介绍
液晶显示(IXD)器件被归类为这样一种显示器件，即，其被配置成驱动每个像素 中包括的如薄膜晶体管的开关元件。这样的IXD器件内的像素具有几十个微米的尺寸。这 样的像素可以通过执行若干次精细图案形成工艺而形成。通常使用必须采用设备进行的平版印刷术来形成精细图案。图案越精细，则在平 版印刷术中采用的设备就变得更加昂贵。因此，目前正在对适于以低成本形成精细图案的 多种技术进行研究。实际上，LCD器件是通过形成诸如电极、阻挡层、绝缘膜等被用作功能膜(或层)的 多种精细图案制造而成的。因此，低成本的精细图案形成技术正在被开发并应用于IXD器 件的制造。低成本的精细图案形成技术包括压印方法。图IA至图IC是例示在精细图案的形成中使用的相关技术的压印方法的截面图。如图IA所示，基板11覆盖有抗蚀剂膜12。另外，具有凹版形状精细图案IOa的模 10定位在抗蚀剂膜12上方。随后，如图IB所示，抗蚀剂膜12受到模10按压。此时，精细图案IOa被转印到受 到模10按压的抗蚀剂膜12上。然后，抬起模10并使其与抗蚀剂膜12分离。结果，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造压印模的方法，该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用所述第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀所述基板，以在所述基板中形成第一图案；对所述第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用所述第二光刻胶图案来刻蚀所述基板，以形成从所述基板得到的第二图案和从所述第一图案得到的第三图案。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张斗熙，权当，赵恒燮，金淏洙，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR