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本发明涉及制造压印模的方法和使用压印模来形成图案的方法。公开了一种制造压印模的方法。该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀基板，以在基板中形成第一图案；对第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图...
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