【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，特别涉及适用毫米波亚毫米波遥感的具有混频功能的石英电路的制备方法，属于实现高频微波遥感关键
技术介绍
随着对气象探测信息需求的进一步发展，气象卫星的微波探测频率也在不断提高。在亚毫米波频段由于没有低噪声放大器可利用，只能采用直接混频双边带接收方式。因此设计低噪声温度、低转换损耗的混频电路显得尤为重要。在微波和毫米波波段，聚四氟乙烯介质被大量采用作为微带线介质用于传输高频信号，并以此作为高频器件的信号载体。然而随着微波器件工作频率的提高，基于聚四氟乙烯介质的微带线结构由于其高损耗、易变形、化学腐蚀制作电路精度低(电路精度最高 20 μ m)、手工切割电路精度低等缺陷，已经不适用于IOOGHz以上的各种电路中。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述技术问题，提供，通过该方法制备的电路能以高度集成化的方式实现毫米波亚毫米波频段内混频功能。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的。本专利技术的，其具体步骤为1)使用磁控溅射台在石英方片剖光面上依次溅射镉金属层和金金属层分别作为电镀金的粘附层和导电层；2)在金金属层上涂光刻胶，使用电路的掩膜版...
【技术保护点】
１．适用高频微波遥感具有混频功能的石英电路的制备方法，其特征在于具体步骤为：１）使用磁控溅射台在石英方片剖光面上依次溅射镉金属层和金金属层分别作为电镀金的粘附层和导电层；２）在金金属层上涂光刻胶，使用电路的掩膜版进行图形的曝光、显影，形成所需混频功能电路的光刻图形；３）对步骤２）光刻出的电路图形进行电镀金加厚，形成金层电路；４）用有机溶剂去掉石英方片上的光刻胶；５）以步骤３）形成的电镀加厚的金层为掩蔽将步骤１）溅射的金金属层先腐蚀掉，然后再腐蚀掉镉金属层，形成最终的电路图形；６）在步骤５）得到的电路图形上面涂足够厚的光刻胶，用于保护电路图形的金金属图形；７）使用粘片剂将石英...
【技术特征摘要】
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