一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路图案的方法技术

技术编号:6661657 阅读:226 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路图案的方法。该方法是通过丝网印刷惰性油墨图案的方式,定点选择性地在基体表面自组装上胺基基团,利用胺基基团吸附金属催化剂,再通过化学镀沉积得到所需要的金属图形。本发明专利技术的有益效果是:通过丝网印刷方法在绝缘基材直接沉积金属线路,得到的线路图形精致、美观。通过自组装的方法在绝缘基材表面引入胺基基团用以吸附金属离子,该方法工艺简单,成品化迅速,易于实现流水化作业,可大大降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于现代电子技术 领域,特别涉及一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路 图案的方法。
技术介绍
在绝缘基材上制备金属线路图案是电子、光学、机械器件如显示器、生物传感器等 的非常重要的一个生产步骤。现在成熟的制备图案化金属线路的方法,通常是通过光刻、电 子束曝光、聚焦离子束曝光等技术在真空蒸发、溅射、电镀或无电镀沉积披覆而成的金属膜 上获得相应的图案,然后再蚀刻而成。虽然这些技术已经能够制得比较精良的金属线路图 案,但是发展一种更为简便、低成本、绿色低碳的金属线生产工艺技术一直是业界的追求。为了达到这个目的,研究人员进行了各种各样的尝试。其中,在绝缘基材上直接选 择性地生长金属线路图案的制备技术最为令人瞩目。因为这种线路制造方法舍弃了光刻 制版、蚀刻金属膜等既繁琐又高能耗、高污染的步骤,使得金属线路图案的制造成本大为下 降,堪称下一代的金属线路生产技术。例如,在绝缘基底表面选择性地定点引入金属离子前 驱体,再将其还原形成所需金属膜图案。这种方法成功的关键是基材表面能够通过分子改 性,产生羰基等基团,从而与金属离子以离子键方式键合,形成金属盐型前驱体。因此,只有 某些绝缘基材比如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路图案的方法,其特征在于,通过丝网印刷惰性油墨图案的方式,定点选择性地在基体表面自组装上胺基基团,利用胺基基团吸附金属催化剂,再通过化学镀沉积得到所需要的金属图形。具体步骤如下:1)在基体表面用惰性油墨丝网印刷上所需金属线路的负相图形,在60℃条件下烘干;所述基体是玻璃、硅片或玻纤布等绝缘材料;2)在基体表面自组装氨基基团:用交联剂将多胺类化合物包覆在基体表面,于50~80℃条件下干燥,使其表面带有胺基基团,得到表面改性的基体;所述多胺类化合物是二乙撑三胺、三乙撑四胺或分子量为20000~60000的聚乙撑亚胺、聚乙烯胺,用水、甲醇或二甲基甲酰胺将多胺类化合物配...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:苏炜李培源杨芳
申请(专利权)人:广西师范学院
类型:发明
国别省市:45

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1