【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于现代电子技术 领域,特别涉及一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路 图案的方法。
技术介绍
在绝缘基材上制备金属线路图案是电子、光学、机械器件如显示器、生物传感器等 的非常重要的一个生产步骤。现在成熟的制备图案化金属线路的方法,通常是通过光刻、电 子束曝光、聚焦离子束曝光等技术在真空蒸发、溅射、电镀或无电镀沉积披覆而成的金属膜 上获得相应的图案,然后再蚀刻而成。虽然这些技术已经能够制得比较精良的金属线路图 案,但是发展一种更为简便、低成本、绿色低碳的金属线生产工艺技术一直是业界的追求。为了达到这个目的,研究人员进行了各种各样的尝试。其中,在绝缘基材上直接选 择性地生长金属线路图案的制备技术最为令人瞩目。因为这种线路制造方法舍弃了光刻 制版、蚀刻金属膜等既繁琐又高能耗、高污染的步骤,使得金属线路图案的制造成本大为下 降,堪称下一代的金属线路生产技术。例如,在绝缘基底表面选择性地定点引入金属离子前 驱体,再将其还原形成所需金属膜图案。这种方法成功的关键是基材表面能够通过分子改 性,产生羰基等基团,从而与金属离子以离子键方式键合,形成金属盐型前驱体。因此,只 ...
【技术保护点】
一种在绝缘基材表面直接沉积金属线路图案的方法,其特征在于,通过丝网印刷惰性油墨图案的方式,定点选择性地在基体表面自组装上胺基基团,利用胺基基团吸附金属催化剂,再通过化学镀沉积得到所需要的金属图形。具体步骤如下:1)在基体表面用惰性油墨丝网印刷上所需金属线路的负相图形,在60℃条件下烘干;所述基体是玻璃、硅片或玻纤布等绝缘材料;2)在基体表面自组装氨基基团:用交联剂将多胺类化合物包覆在基体表面,于50~80℃条件下干燥,使其表面带有胺基基团,得到表面改性的基体;所述多胺类化合物是二乙撑三胺、三乙撑四胺或分子量为20000~60000的聚乙撑亚胺、聚乙烯胺,用水、甲醇或二甲基甲 ...
【技术特征摘要】
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