The utility model discloses a special gas pipeline plate PECVD, including multi gent trachea and MFC connected, each of the special pipe is provided with a plurality of jet holes of the same area, more of the special pipe is provided with at least three different jet hole area, silane and ammonia can be achieved at least three different mixing ratio, on the surface of the silicon wafer deposited at least three layers of film, improve the conversion efficiency of silicon wafers, and does not need additional MFC, low cost, can also jet holes need to design different area according to the convenient adjustment.
【技术实现步骤摘要】
一种板式PECVD的特气管路
本技术涉及太阳能电池制造的
,尤其涉及一种板式PECVD的特气管路。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片,目前绝大多数电池片都采用硅片制成。电池片在生产过程中,需要在硅片的表面镀上一层减反射膜。目前,采用等离子体增强化学气相沉积方法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD),使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层,即减反射膜。此减反射膜的主要作用是:降低反射率、良好的体钝化和表面钝化,以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性,在硅片表面形成保护层。电池片的PECVD工序一般通过PECVD机完成,PECVD机在石英管的两端通微波源,表面抽真空的条件下将氨气和硅烷分解成高能离子状态,经过一系列化学反应,在硅片表面沉积氮化硅固态薄膜,同时分解出来的氢离子,将硅片表面原有缺陷钝化。现有板式PECVD机的特气管路的结构如图1所示,包括两组特气管1′,每组包括三个特气管1′,所有的特气管1′上的均设置有直径一致的喷气孔11′,用于喷出硅烷或氨气,图1中的每组特气管路均连通一个用于控制硅烷的质量流量控制器(MFC),与此特气管路相对应的还有连通有氨气的MFC的另两组特气管(图中未示出),硅烷与氨气混合产生化学反应,并且在硅片的表面沉积出减反射膜,通过两个MFC分别控制 ...
【技术保护点】
一种板式PECVD的特气管路,其特征在于,包括与MFC连通的多根特气管(1),每根所述特气管(1)上设置有面积相同的多个喷气孔(11),多根所述特气管(1)至少设置有三种不同面积的所述喷气孔(11)。
【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD的特气管路,其特征在于,包括与MFC连通的多根特气管(1),每根所述特气管(1)上设置有面积相同的多个喷气孔(11),多根所述特气管(1)至少设置有三种不同面积的所述喷气孔(11)。2.如权利要求1所述的板式PECVD的特气管路,其特征在于,多根所述特气管(1)沿待镀膜硅片的流动方向布置;所述特气管(1)内通硅烷,多根所述特气管(1)上的所述喷气孔(11)的面积沿所述待镀膜硅片的流动方向逐渐变小;或所述特气管(1)内通氨气,多根所述特气管(1)上的所述喷气孔(11)的面积沿所述待镀膜硅片的流动方向逐渐变大。3.如权利要求2所述的板式PECVD的特气管路,其特征在于,所述喷气孔(11)包括第一喷气孔(111),所述第一喷气孔(111)的直径为1.6mm-1.8mm;所述喷气孔(11)还包括第二喷气孔(112)、第三喷气孔(113)、第四喷气孔(114)、第五喷气孔(115)和第六喷气孔(116)中的至少两种,其中,第二喷气孔(112)的直径为1.3mm-1.6mm,所述第三喷气孔(113)的直径为1.0mm-1....
【专利技术属性】
技术研发人员:袁中存,党继东,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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