【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于声表面波装置，特别地，关于在压电基板上具有含有铝层的电极，且该层的铝为由外延成长形成的声表面波装置。
技术介绍
作为可用作频率滤波器或共振器的电子器件，有声表面波装置(SAW (Surface Acoustic Wave)装置)。该声表面波装置主要是在钽酸锂(LiTaO3)或铌酸锂(LiNbO3)等具有压电性的单晶基板上，形成由可激振声表面波的铝等金属膜组成的叉状电极而构成。并且，由于声表面波装置的可小型化，近年来伴随着移动电话等移动通信装置的进一步小型化，作为在该移动通信装置中从接收电波或发射电波中取出特定频带的电信号的双工器，声表面波装置被广泛地利用。另一方面，如上所述地，当声表面波装置作为被装备在移动电话中的双工器被使用时，由于需要经常输入/输出高频波进行处理，因此要求具有高度的耐电性能。对应这样的要求，在专利文献1中，开示了提高声表面波装置耐电性能的技术。具体而言，在专利文献1中，开示有利用交角为特定范围角度的压电性单晶基板，在其上层积氮化钛层，再进一步在其上通过外延成长形成作为电极层的铝层。通过这样，可以形成不存在晶粒界面的电极，从而提高...
【技术保护点】
１．一种声表面波装置，其特征在于，具有压电性单晶基板，由形成在所述压电性单晶基板上的由导电性材料构成的基础电极层；在该基础电极层上通过外延成长形成的含铝的主电极层，以及由它们构成的叉状电极；在所述电极中，具有形成在所述主电极层上，由与该主电极层以及所述基础电极层不同且比重比铝大的导电性材料构成的上部层。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中野正洋，上村裕彦，饭岛淳，
申请(专利权)人：新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：HK
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