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声表面波装置制造方法及图纸
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下载声表面波装置的技术资料
文档序号:6641968
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本发明中的声表面波装置具有压电性单晶基板10,形成在所述压电性单晶基板的由导电性材料构成的基础电极层21,在该基础电极层上通过外延成长形成的含铝的主电极层22,以及由它们构成的叉状电极20。在所述电极20中,具有形成在所述主电极层22上,由...
该专利属于新科实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新科实业有限公司授权不得商用。
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