硅棒冷却装置制造方法及图纸

技术编号:6636788 阅读:282 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种硅棒冷却装置,其特征在于:所述硅棒冷却装置是一个柱形框,柱形框由竖向框条和横向框条围成,竖向框条设在横向框条的外侧,柱形框的底部设有底板,所述横向框条为表面设有保温层的环状金属圈体。硅单晶生长炉生产的硅棒放到本实用新型专利技术的硅棒冷却装置中冷却,可延缓硅棒冷却时间,防止硅棒产生内裂,同时也防止硅棒局部冷却过快造成该局部切片时容易产生碎片和月牙片,影响硅片质量。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

硅棒冷却装置
本技术涉及一种硅棒生产的辅助工具,具体涉及一种硅棒冷却装置。
技术介绍
硅单晶生长炉生产的硅棒,刚出炉的温度是很高的,它需要在空气中慢慢均勻地进行冷却,目前硅棒一般是放置在金属架上冷却,这样就存在硅棒与金属架接触的局部冷却过快,造成该局部的硅棒切片时容易产生碎片和月牙片,影响硅片质量,另外也会导致整条硅棒的冷却时间缩短,硅棒容易产生内裂。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
存在的不足,本技术的目的旨在提供一种可延缓硅棒冷却时间、同时也防止硅棒局部冷却过快的硅棒冷却装置。本技术是通过以下技术方案来实施的硅棒冷却装置,其特征在于所述硅棒冷却装置是一个柱形框,柱形框由竖向框条和横向框条围成,竖向框条设在横向框条的外侧,柱形框的底部设有底板,所述横向框条为表面设有保温层的环状金属圈体。所述保温层由石棉丝带缠绕在环状金属圈体上形成。当出炉的硅棒放到上述结构的硅棒冷却装置中,硅棒与空气充分接触,由于与硅棒接触的是表面设有保温层的金属圈体,所以就避免了硅棒局部冷却过快的情况的发生, 这样硅棒就不会因为局部冷却过快在切片时产生碎片和月牙片,保证了硅片的质量;同时, 保温层的设置也一定程度延缓了硅棒的冷却时间,确保防止硅棒产生内裂。附图说明图1为本技术的结构图具体实施方式参照附图1,这种硅棒冷却装置,是一个柱形框,柱形框由四条竖向框条2和三条横向框条3围成,竖向框条2由不锈钢材料制成,竖向框条2连接在横向框条3的外侧,柱形框的底部固定有木质的底板4,所述横向框条3为表面设有保温层的环状不锈钢圈体,所述保温层由石棉丝带缠绕在环状金属圈体上形成。当出炉的硅棒竖直放置在柱形框中,硅棒与空气充分接触,硅棒的外圆与金属圈体表面缠绕的石棉丝带接触,既防止了硅棒接触的局部冷却过快,也一定程度延缓了硅棒的冷却时间。权利要求1.硅棒冷却装置,其特征在于所述硅棒冷却装置是一个柱形框,柱形框由竖向框条和横向框条围成,竖向框条设在横向框条的外侧,柱形框的底部设有底板,所述横向框条为表面设有保温层的环状金属圈体。2.如权利要求1所述的硅棒冷却装置,其特征在于所述保温层由石棉丝带缠绕在环状金属圈体上形成。专利摘要本技术公开了一种硅棒冷却装置,其特征在于所述硅棒冷却装置是一个柱形框,柱形框由竖向框条和横向框条围成,竖向框条设在横向框条的外侧,柱形框的底部设有底板,所述横向框条为表面设有保温层的环状金属圈体。硅单晶生长炉生产的硅棒放到本技术的硅棒冷却装置中冷却,可延缓硅棒冷却时间,防止硅棒产生内裂,同时也防止硅棒局部冷却过快造成该局部切片时容易产生碎片和月牙片,影响硅片质量。文档编号C30B29/06GK201981295SQ20112006695公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月11日 优先权日2011年3月11日专利技术者李国迪, 蒋明霞, 蔡光进, 韩喆 申请人:浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅棒冷却装置,其特征在于:所述硅棒冷却装置是一个柱形框,柱形框由竖向框条和横向框条围成,竖向框条设在横向框条的外侧,柱形框的底部设有底板,所述横向框条为表面设有保温层的环状金属圈体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡光进韩喆李国迪蒋明霞
申请(专利权)人:浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:33

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