振动片、振子、电子器件以及电子设备制造技术

本发明专利技术提供一种能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的振动片、振子、电子器件以及电子设备。振动片(2)具有进行扭转振动的振动臂(22)，振动臂(22)包含由基端侧部分(227b)和基端侧部分(226b)构成的结构部，在宽度方向的剖视图中，基端侧部分(227b)沿Z轴方向设置，基端侧部分(226b)与基端侧部分(227b)连接，其重心相对于基端侧部分(227b)的重心分别在Z轴方向和与Z轴方向垂直的X轴方向上错开，振动臂(22)由于施加电压进行扭转振动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动片、振子、电子器件以及电子设备。
技术介绍
在搭载于电子设备的石英振荡器等电子设备中，具有石英振子等振子。作为上述振子，公知有具有音叉型振动片的振子，音叉型振动片具有以相互平行的方式延伸的两个振动臂(例如，参照专利文献1)。例如，在专利文献1的石英振子中，在沿宽度方向的截面形成矩形的各振动臂的宽度方向相互相对的一对面配置有2对电极。并且，通过以极性相反的方式对该2对电极中的相互相对的一方的1对电极、和相互相对的另一方的1对电极施加电压，使各振动臂扭转振动。这样通过使用扭转振动，与使用弯曲振动的振子相比，能够减小温度变化引起的频率变化量。但是，在专利文献1的石英振子中，如上所述，各振动臂的宽度方向截面形成矩形，因此各振动臂的扭转刚性比较高，从而不能充分使驱动频率低频化。假如使各振动臂变细来降低扭转刚性，则电极的设置面积变小，从而不能有效激励扭转振动。专利文献1日本特开平4-；348606号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的振动片、振子以及电子器件。本专利技术正是为了解决上述课题的至少一部分而做出的，可作为以下的方式或应用例来实现。本应用例的振动片，其特征在于，所述振动片具有进行扭转振动的至少1个振动臂，所述振动臂包含由第1部分和第2部分构成的结构部，在宽度方向的剖视图中，所述第1部分沿第1方向设置，所述第2部分与所述第1部分连接，其重心相对于所述第1部分的重心分别在所述第1方向和与所述第1方向垂直的第2方向上错开，所述第1部分由于施加电压而在所述振动臂的长度方向上伸缩振动，所述第2部分由于施加所述电压而在所述振动臂的长度方向上实质上不伸缩振动或者以与所述第1部分错开的相位进行伸缩振动。根据这种本应用例，能够使用伸缩振动来激励扭转振动。因此，能够有效激励扭转振动。结果，能够实现使用了这种振动片的振子的低驱动电压化。此外，与振动臂的宽度方向截面形成矩形的情况相比能够抑制振动臂的扭转刚性。因此，能够实现振动片的小型化，并且能够充分降低扭转振动的频率。如上，能够提供能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的振动片。在本应用例的振动片中，优选的是，所述第1部分和所述第2部分分别形成沿着所述振动臂的长度方向的长板状，相互的宽度方向上的端部彼此以相互的板面垂直的方式连接。由此，能够通过在形成矩形的宽度方向截面的振动臂设置矩形槽等的简单加工， 形成具有第1部分和第2部分的振动臂。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂构成为包含多个所述结构部。由此，能够比较简单地将振动臂的扭转振动的频率、振幅等条件设为期望条件。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂以沿该振动臂的长度方向排列的方式设置有多个所述结构部。由此，能够比较简单且有效地进一步降低振动臂的扭转振动的频率。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂以隔着沿该振动臂的长度方向的中心轴相对的方式设置有1对所述结构部。由此，能够防止或抑制振动臂的扭转振动的扭转中心轴相对于沿振动臂的长度方向的中心轴错开的情况。因此，在使用了这种振动片的振子中，能够减小振动泄漏。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂以遍及该振动臂的长度方向上的整个区域的方式设置有所述结构部。由此，能够比较简单且有效地进一步降低振动臂的扭转振动的频率。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂以关于沿该振动臂的长度方向的中心轴对称的方式形成。由此，能够防止或抑制振动臂的扭转振动的扭转中心轴相对于沿振动臂的长度方向的中心轴错开的情况。因此，在使用了这种振动片的振子中，能够减小振动泄漏。在本应用例的振动片中，优选的是，在所述振动臂的前端部设置有质量部，所述质量部在所述振动臂的所述宽度方向的剖视图中的截面积比所述结构部大。由此，能够使振动片更小型，并且能够进一步降低振动臂的扭转振动的频率。在本应用例的振动片中，优选的是，该振动片具有多个所述振动臂。由此，能够更有效地激励振动臂的扭转振动。在本应用例的振动片中，优选的是，该振动片具有1对所述振动臂，该1对所述振动臂以相互平行的方式设置，相互朝相同方向进行扭转振动。由此，能够防止或抑制连接1对振动臂的基端部彼此的部分产生非本意的振动(厚度方向的振动)。因此，能够防止或抑制从振动片的振动泄漏。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂由压电体材料构成。由此，能够用在振动臂的表面形成电极这样比较简单的结构，使振动臂扭转振动。 因此，能够实现振动片的小型化和低成本化。在本应用例的振动片中，优选的是，所述振动臂由非压电体材料构成，在所述振动臂的所述第1部分上设置有具有压电薄膜的压电元件。例如，在使用硅作为非压电性材料的情况下，能够通过蚀刻以高精度的尺寸精度形成振动臂。因此，能够比较简单地得到具有期望的振动特性的振动片。本应用例的振子，其特征在于，该振子具有上述应用例的振动片；以及收纳所述振动片的封装。由此，能够提供能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的振子。本应用例的电子器件，其特征在于，该电子器件具有上述应用例的振动片；以及驱动所述振动片的电子部件。由此，能够提供能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的电子器件。本应用例的电子设备，其特征在于，该电子设备具有上述应用例的振动片；以及驱动所述振动片的电子部件。由此，能够提供能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的电子设备。附图说明图1是示出本专利技术第1实施方式的电子设备的俯视图。图2是图1所示的电子设备的剖视图。图3是示出图1所示的电子设备具有的振动片的俯视图(省略电极图示后的图)。图4是示出图1所示的电子设备具有的振动片的仰视图。图5是图1所示的电子设备具有的振动片的剖视图((a)是沿图1中的A-A线的剖视图，(b)是沿图1中的B-B线的剖视图)。图6是用于说明图5所示的振动片具有的振动臂的动作的部分放大立体图。图7是示出本专利技术第2实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图8是图7所示的振动片的剖视图(振动臂的宽度方向的剖视图)。图9是示出本专利技术第3实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图10是图9所示的振动片的剖视图(振动臂的宽度方向的剖视图)。图11是示出本专利技术第4实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图12是图11所示的振动片的剖视图(振动臂的宽度方向的剖视图)。图13是示出本专利技术第5实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图14是图13所示的振动片的剖视图(振动臂的宽度方向的剖视图)。图15是示出本专利技术第6实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图16是图15所示的振动片的剖视图(振动臂的宽度方向的剖视图)。图17是示出本专利技术第7实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图18是示出本专利技术第8实施方式的电子设备具有的振动片的俯视图。图19是示出作为本专利技术的电子设备一例的便携电话机的概略的立体图。图20是作为本专利技术的电子设备一例的便携电话机的电路框图。标号说明1 电子设备；2 :振动片；2A :振动片；2B :振动片；2C 振动片；2D :振动片；2E 振动片；3 电子部件；4 封装；21 基部；21F 基部；21G 基部；22 振动臂；22A 振动臂； 22E 振动臂；23 振动臂；本文档来自技高网...

【技术保护点】
述第１方向和与所述第１方向垂直的第２方向上错开，所述第１部分由于施加电压而在所述振动臂的长度方向上伸缩振动，所述第２部分由于施加所述电压而在所述振动臂的长度方向上实质上不伸缩振动或者以与所述第１部分错开的相位进行伸缩振动。１．一种振动片，其特征在于，所述振动片具有进行扭转振动的至少１个振动臂，所述振动臂包含由第１部分和第２部分构成的结构部，在宽度方向的剖视图中，所述第１部分沿第１方向设置，所述第２部分与所述第１部分连接，其重心相对于所述第１部分的重心分别在所

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田明法，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP