压电振动片、压电振动器及其制造方法、振荡器、电子设备及电波钟技术

本发明专利技术提供在与凸点之间能确保稳定的接合强度的压电振动片、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。在包括振动部、与该振动部邻接的基部(12)、形成在所述振动部的激振电极、形成在所述基部的装配电极(16、17)、以及电连接所述激振电极和所述装配电极的引出电极的压电振动片(4)中，在所述装配电极的表面成膜由金构成的接合膜(72)，该接合膜形成为在与由金构成的凸点(B)超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。

Piezoelectric vibrating sheet, piezoelectric vibrator, method for manufacturing the same, oscillator, electronic device, and radio wave clock

The present invention provides a piezoelectric vibrating sheet, a piezoelectric vibrator, a piezoelectric vibrator, a method of manufacturing an oscillator, an electronic device, and an electric clock. In the base of the Department, including the vibration and the vibration of adjacent (12), formed in the formation of the excitation electrode, the vibration of the electrode assembly in the base portion (16, 17), and electrically connected with the excitation electrode and the piezoelectric vibrator assembly lead electrode electrode. (4), a bonding film formed by gold on the surface of the electrode assembly (72), the joint film formed in and bump by Kim composed of ultrasonic bonding (B) on the occasion, the thickness of each diffusion approximately all the thickness direction.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、压电振动器的制造方法，振荡器，电子设备 及电波钟。
技术介绍
一直以来，接合一对基板并在该基板间形成的空腔内密封压电振动片的压电振动 器被广为人知。压电振动器例如用于便携电话或便携信息终端的时刻源或控制信号等的定 时源、参考信号源等。作为压电振动器的形态，已知有各式各样的压电振动器，但作为其中 之一，众所周知表面安装型的压电振动器。作为表面安装型的压电振动器，有直接接合基底基板和盖基板并在两基板之间形 成的空腔内收纳压电振动片的2层构造型的压电振动器。该2层构造型的压电振动器，在 能实现薄型化等方面很优越，能适宜使用。在这样的2层构造型的压电振动器中，已知利用 以贯通基底基板的方式形成的导电部件(贯通电极)，使压电振动片的装配电极与形成在 基底基板的外部电极导通的压电振动器。具体而言，在基底基板的外侧，贯通电极与外部电极导通，在基底基板的空腔侧， 贯通电极和迂回电极导通。该迂回电极形成在基底基板的表面。然后，在迂回电极与装配 电极之间设有由金属材料构成的凸点(bump)，迂回电极与凸点之间、以及凸点与装配电极 之间分别用超声波接合来接合。在此，公开了这样的技术作为凸点使用金，并且使用在迂回电极及装配电极的表 面的与凸点的接合面成膜金的构件，将它们分别超声波接合(例如，参照专利文献1、2)。专利文献1 日本特开平1H66135号公报专利文献2 日本特开2001-102891号公报可是，在进行了上述传统的超声波接合的压电振动器中，凸点与压电振动片(装 配电极)之间的接合强度容易产生偏差，难以维持稳定的接合强度。因此，为了确保凸点与压电振动片之间的接合强度，可考虑采用在一个接合部位 形成多个凸点进行超声波接合的方法，但存在生产效率降低的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术鉴于上述问题构思而成，其目的在于提供一种在与凸点之间能够确 保稳定的接合强度的压电振动片、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备 及电波钟。为了解决上述课题，本专利技术提供以下方案。本专利技术的压电振动片，其中包括振动部、与该振动部邻接的基部、形成在所述振 动部的激振电极、形成在所述基部的装配电极、以及电连接所述激振电极和所述装配电极 的引出电极，其特征在于，在所述装配电极的表面成膜由金构成的接合膜，该接合膜形成为在与由金构成的凸点超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。依据本专利技术的压电振动片，将凸点与装配电极超声波接合后，能够在装配电极的 表面形成的由金构成的接合膜的厚度方向的大致全体上互相扩散，因此能够防止在凸点与 装配电极的接合部位中产生没有对接合膜互相扩散的区域。因而，能够稳定地确保凸点与 压电振动片之间的接合强度。此外，仅仅这样薄膜形成接合膜，无需为了确保接合强度而在 一个接合部位形成多个凸点后进行超声波接合，因此能够提高生产效率。此外，本专利技术的压电振动器，其中包括基底基板、以与该基底基板对置的状态接合 到所述基底基板的盖基板、以及收纳于在所述基底基板和所述盖基板之间形成的空腔内的 压电振动片，该压电振动片具有振动部、与该振动部邻接的基部、形成在所述振动部的激振 电极、形成在所述基部的装配电极、以及电连接所述激振电极与所述装配电极的引出电极， 形成在所述基底基板的贯通孔中设有贯通电极，并且为了电连接所述压电振动片与所述贯 通电极而在所述基底基板形成迂回电极，其特征在于，在所述迂回电极的既定位置形成由 金构成的凸点，以电连接该迂回电极和形成在所述压电振动片的所述装配电极，并且在所 述压电振动片中的所述装配电极的表面，成膜由金构成的接合膜，该接合膜形成为在与所 述凸点超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。依据本专利技术的压电振动器，将凸点和装配电极超声波接合后，能够在装配电极的 表面形成的由金构成的接合膜的厚度方向的大致全体上互相扩散，因此能够防止在凸点与 装配电极的接合部位中产生没有对接合膜互相扩散的区域。因而，能够稳定地确保凸点与 压电振动片之间的接合强度。此外，仅仅这样薄膜形成接合膜，无需为了确保接合强度而在 一个接合部位形成多个凸点后进行超声波接合，因此能够提高生产效率。此外，本专利技术的压电振动器的制造方法，其中该压电振动器包括基底基板、以与该 基底基板对置的状态接合到所述基底基板的盖基板、以及被收纳于在所述基底基板与所述 盖基板之间形成的空腔内的压电振动片，该压电振动片具有振动部、与该振动部邻接的基 部、形成在所述振动部的激振电极、形成在所述基部的装配电极、以及电连接所述激振电极 和所述装配电极的引出电极，形成在所述基底基板的贯通孔中设有贯通电极，并且为了电 连接所述压电振动片和所述贯通电极而在所述基底基板形成迂回电极，在该迂回电极的既 定位置形成由金构成的凸点，以电连接该迂回电极和形成在所述压电振动片的所述装配电 极，所述压电振动器的制造方法的特征在于，包括在所述基底基板形成所述迂回电极的工 序；在所述迂回电极的既定位置形成所述凸点的工序；以及在所述凸点上超声波接合所述 压电振动片的装配电极的工序，在所述压电振动片的所述装配电极的表面成膜由金构成的 接合膜，该接合膜形成为在与所述凸点超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散 的厚度。依据本专利技术的压电振动器的制造方法，将凸点与装配电极超声波接合后，能够在 装配电极的表面形成的由金构成的接合膜的厚度方向的大致全体上互相扩散，因此能够防 止在凸点和装配电极的接合部位中产生没有对接合膜互相扩散的区域。因而，能够稳定地 确保凸点与压电振动片之间的接合强度。此外，仅仅这样薄膜形成接合膜，无需为了确保接 合强度而在一个接合部位形成多个凸点后进行超声波接合，因此能提高生产效率。此外，本专利技术的振荡器，其特征在于，使上述的压电振动器，作为振子电连接至集 成电路。而且，本专利技术的电子设备，其特征在于，使上述的压电振动器电连接至计时部。然后，本专利技术的电波钟，其特征在于，使上述的压电振动器电连接至滤波部。在本专利技术的振荡器、电子设备及电波钟中，由于采用能够在压电振动片与凸点之 间确保稳定的接合强度的压电振动器，能够提供成品率得到提高并且质量稳定的振荡器、 电子设备及电波钟。(专利技术效果)依据本专利技术的压电振动器，将凸点与装配电极超声波接合后，能够在装配电极的 表面形成的由金构成的接合膜的厚度方向的大致全体上互相扩散，因此能够防止在凸点与 装配电极的接合部位中产生没有对接合膜互相扩散的区域。因而，能够稳定地确保凸点与 压电振动片之间的接合强度。此外，仅仅这样薄膜形成接合膜，无需为了确保接合强度而在 一个接合部位形成多个凸点后进行超声波接合，因此能提高生产效率。附图说明图1是表示本专利技术的压电振动器的一实施方式的外观斜视图。图2是图1所示的压电振动器的内部结构图，并且是在拆下盖基板的状态下俯视 压电振动片的图。图3是沿着图2所示的A-A线的压电振动器的剖视图。图4是图1所示的压电振动器的分解斜视图。图5是构成图1所示的压电振动器的压电振动片的俯视图。图6是图5所示的压电振动片的仰视图。图7是沿着图5的B-B线的剖视图。图8是图3的D部分放大图。图9是表示制造图1所示的压电振动器之际的流程的流程图。图10是表示沿着图9所示的流程图制造压电振动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电振动片，其中包括：振动部；与该振动部邻接的基部；形成在所述振动部的激振电极；形成在所述基部的装配电极；以及电连接所述激振电极和所述装配电极的引出电极，其特征在于，在所述装配电极的表面成膜由金构成的接合膜，该接合膜形成为在与由金构成的凸点超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：福田纯也，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：JP