压电振动片、压电振动器及其制造方法、振荡器、电子设备及电波钟技术

本发明专利技术提供在与凸点之间能确保稳定的接合强度的压电振动片、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。在包括振动部、与该振动部邻接的基部(12)、形成在所述振动部的激振电极、形成在所述基部的装配电极(16、17)、以及电连接所述激振电极和所述装配电极的引出电极的压电振动片(4)中，在所述装配电极的表面成膜由金构成的接合膜(72)，该接合膜形成为在与由金构成的凸点(B)超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。

Piezoelectric vibrating sheet, piezoelectric vibrator, method for manufacturing the same, oscillator, electronic device, and radio wave clock

The present invention provides a piezoelectric vibrating sheet, a piezoelectric vibrator, a piezoelectric vibrator, a method of manufacturing an oscillator, an electronic device, and an electric clock. In the base of the Department, including the vibration and the vibration of adjacent (12), formed in the formation of the excitation electrode, the vibration of the electrode assembly in the base portion (16, 17), and electrically connected with the excitation electrode and the piezoelectric vibrator assembly lead electrode electrode. (4), a bonding film formed by gold on the surface of the electrode assembly (72), the joint film formed in and bump by Kim composed of ultrasonic bonding (B) on the occasion, the thickness of each diffusion approximately all the thickness direction.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、压电振动器的制造方法，振荡器，电子设备 及电波钟。
技术介绍
一直以来，接合一对基板并在该基板间形成的空腔内密封压电振动片的压电振动 器被广为人知。压电振动器例如用于便携电话或便携信息终端的时刻源或控制信号等的定 时源、参考信号源等。作为压电振动器的形态，已知有各式各样的压电振动器，但作为其中 之一，众所周知表面安装型的压电振动器。作为表面安装型的压电振动器，有直接接合基底基板和盖基板并在两基板之间形 成的空腔内收纳压电振动片的2层构造型的压电振动器。该2层构造型的压电振动器，在 能实现薄型化等方面很优越，能适宜使用。在这样的2层构造型的压电振动器中，已知利用 以贯通基底基板的方式形成的导电部件(贯通电极)，使压电振动片的装配电极与形成在 基底基板的外部电极导通的压电振动器。具体而言，在基底基板的外侧，贯通电极与外部电极导通，在基底基板的空腔侧， 贯通电极和迂回电极导通。该迂回电极形成在基底基板的表面。然后，在迂回电极与装配 电极之间设有由金属材料构成的凸点(bump)，迂回电极与凸点之间、以及凸点与装配电极 之间分别用超声波接合来接合。在此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电振动片，其中包括：振动部；与该振动部邻接的基部；形成在所述振动部的激振电极；形成在所述基部的装配电极；以及电连接所述激振电极和所述装配电极的引出电极，其特征在于，在所述装配电极的表面成膜由金构成的接合膜，该接合膜形成为在与由金构成的凸点超声波接合之际，厚度方向的大致全体上互相扩散的厚度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：福田纯也，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：JP