一种储存和循环回收氯硅烷的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种储存和循环回收氯硅烷的装置。本实用新型专利技术的装置包括氯硅烷储罐、冷凝器，氯硅烷储罐与冷凝器之间设置有氯硅烷气体管道和氯硅烷冷凝液回流管，在氯硅烷气体管道上设置了气动开关阀，在冷凝器的氯硅烷冷凝液管与氯硅烷冷凝液回流管之间增设了缓冲罐、气动调节阀，在氯硅烷冷凝管的出口处设置有信号收集器，信号收集器通过控制器与气动开关阀及气动调节阀之间信号连接。进一步的，在缓冲罐与气动调节阀之间还设有过滤器，在缓冲罐顶部与冷凝器气相入口之间还设置有回气管，本实用新型专利技术通过关闭气动调节阀和堵塞过滤器，能有效地阻止泄漏的冷却循环水进入氯硅烷储罐并与其中的氯硅烷发生反应，避免安全事故的发生。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术公开了一种防止冷却循环水进入氯硅烷储罐的装置，特别涉及一种当氯硅烷储罐上冷凝器泄露时防止冷却循环水进入氯硅烷储罐的装置，属于多晶硅生产

技术介绍
在多晶硅生产中，中间产品氯硅烷的提纯是多晶硅生产中非常重要的环节，该环节涉及到大量的氯硅烷储罐。由于氯硅烷沸点较低，因此在氯硅烷储罐的顶部设置有用循环水作为冷剂的冷凝器，将汽化的氯硅烷蒸汽冷凝下来回流至储罐，避免氯硅烷损失。由于氯硅烷对冷凝器换热管的腐蚀以及冷凝器材质、加工质量等原因，冷凝器发生泄漏时有发生，而氯硅烷遇水极易发生水解反应SiCl4 + 2H20 = SiO2 + HCl +QSiHCl3 + 2H20 = SiO2 + 3HC1 + H2 +QSiH2Cl2 + 2H20 = SiO2 + 2HC1 + 2H2 +Q伴随水解反应的发生，还会产生热及氢气。目前氯硅烷冷凝液的回收普遍采用的是直接回流至储罐的方法，当冷凝器发生泄漏时，大量的冷却循环水进入氯硅烷储罐中，与大量氯硅烷发生反应，短时间内就会产生大量的热和氢气，极易发生爆炸，造成重大安全事故。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于针对上述存在的问题，提供一种当本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种储存和循环回收氯硅烷的装置，包括氯硅烷储罐（１）、冷凝器（４），冷凝器（４）上设置有冷却循环水进水管（５）、冷却循环水出水管（６）和氯硅烷冷凝液管（７）、不凝尾气出口（１５），氯硅烷储罐（１）与冷凝器（４）之间设置有氯硅烷气体管道（２）和氯硅烷冷凝液回流管（１１），其特征在于：氯硅烷气体管道（２）上还设置有气动开关阀（３），所述氯硅烷冷凝液管（７）与氯硅烷冷凝液回流管（１１）之间还设有缓冲罐（８）、气动调节阀（１０），所述氯硅烷冷凝液管（７）伸入到缓冲罐（８）罐内，所述缓冲罐（８）、气动调节阀（１０）、氯硅烷冷凝液回流管（１１）依次管道连接，氯硅烷冷凝管（７）的末端或缓冲罐（８）内壁设...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐猷成，王恒孝，黎展荣，蒲晓东，
申请(专利权)人：四川新光硅业科技有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：51