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本实用新型公开了一种储存和循环回收氯硅烷的装置。本实用新型的装置包括氯硅烷储罐、冷凝器，氯硅烷储罐与冷凝器之间设置有氯硅烷气体管道和氯硅烷冷凝液回流管，在氯硅烷气体管道上设置了气动开关阀，在冷凝器的氯硅烷冷凝液管与氯硅烷冷凝液回流管之间增设...
该专利属于四川新光硅业科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川新光硅业科技有限责任公司授权不得商用。

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