激光加工装置及激光加工方法制造方法及图纸

技术编号:6620912 阅读:191 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种激光加工装置及激光加工方法,其不使用辅助气体或液体就可以抑制加工去除物对激光加工的影响,从而提高加工效率。一种向加工对象物(W)照射激光而进行加工的装置,具备有:第1激光照射机构(2),将第1激光(L1)聚光成加工对象物(W)可被加工的激光强度而向加工对象物(W)的加工面进行照射;以及第2激光照射机构(3),将第2激光(L2)聚光成加工对象物(W)不会被加工的激光强度,与第1激光(L1)同时向基于该第1激光(L1)的加工点的周围进行照射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种例如适合于超硬质材料的加工等中的。
技术介绍
通常,在使用如立方晶氮化硼烧结体(以下称为CBN烧结体)或金刚石烧结体的超硬质材料的部件或工具等的形状加工中,用基于磨刀石的研磨等力学方法进行整形。但是,CBN烧结体或金刚石烧结体在力学上坚固,用每次加工时都变形的磨刀石等是很难实施微米级的精密加工。并且,还已知有如下方法为了得到所希望的加工性状,向具有由CBN烧结体或金刚石烧结体等构成的表面的部件照射激光,并且进行反复扫描,从而实施切割等加工。该方法中,通过由激光的照射产生的熔融物等的加工去除物的堆积,在扫描下一个激光时,通过所堆积的加工去除物阻碍激光的同时被吸收而加工速度下降,并且难以进行有效的精密的表面加工。为此,作为防止加工去除物的堆积的方法,以往使用通过辅助气体吹散加工去除物的方法或通过吸引等去除加工去除物并同时进行加工的方法,并且,例如专利文献1所记载,还提出有用高压喷吹水的方法。在该方法中,通过以高压喷吹水来进行加工部的冷却,但可以认为还能够吹散加工去除物。并且,专利文献2中提出有,在保持有被加工物的加工壳内容纳蒸馏水等液体,通过该液体向被加工物照射激光的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置,向加工对象物照射激光而进行加工,其特征在于,具备有:第1激光照射机构,将第1激光聚光成所述加工对象物可被加工的激光强度而向所述加工对象物的加工面进行照射;以及第2激光照射机构,将第2激光聚光成所述加工对象物不会被加工的激光强度,与所述第1激光同时向基于该第1激光的加工点的周围进行照射。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:高桥正训日向野哲
申请(专利权)人:三菱综合材料株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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