下载激光加工装置及激光加工方法的技术资料

文档序号:6620912

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本发明提供一种激光加工装置及激光加工方法,其不使用辅助气体或液体就可以抑制加工去除物对激光加工的影响,从而提高加工效率。一种向加工对象物(W)照射激光而进行加工的装置,具备有:第1激光照射机构(2),将第1激光(L1)聚光成加工对象物(W)...
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