【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种红外加热片。
技术介绍
在半导体制造设备，尤其是需要高温加热的半导体制造设备中，例如，金属有机物化学气相沉积(M0CVD)，通常使用加热片红外辐射加热或电磁感应加热。由于MOCVD工艺和生产需要，MOCVD设备加热系统经常在高温负载(1000摄氏度以上)下长时间运行。如图1 所示，为现有的常规加热片，由火线电极1、地线电极2以及平滑的加热片主体3构成。常规加热片在上述这种高温热冲击和热循环环境下，加热片尤其是靠近固定电极附近的位置较容易产生热应力翘曲和断裂的问题。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供了一种红外加热片，该加热片具有对高温热冲击和热循环有良好的抵抗能力，而且其可靠性高，寿命长。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下一种红外加热片，包括火线电极、地线电极以及加热片主体，所述加热片主体的形状为波浪形状。作为优选，所述加热主体的厚度为0. 2mm至5mm。作为优选，所述波浪形状为半圈、单圈或多圈排列。本技术与现有技术相比，波浪形状的加热片主体可以有效提高加热片对高温热冲击和热循环的抵抗能力，从而大幅提高其工作可靠性和寿命。附图说明图1为现有技术的加热片的结构示意图；图2为本技术实施例的一种红外加热片的结构示意图。具体实施方式如图2所示，一种红外加热片，包括火线电极11、地线电极12以及加热片主体13， 所述加热片主体13的形状为波浪形状。所述加热主体的厚度为0. 2mm至5mm。加热片主体13采用采用耐高温、导电性好、热膨胀系数较小的材料，如石墨、钼、 钨、钨铼合金等材料制作而成。火线电极11、地线电极12分别设置在加热片...
【技术保护点】
１．一种红外加热片，包括火线电极、地线电极以及加热片主体，其特征在于，所述加热片主体的形状为波浪形状。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：甘志银，胡少林，陈倩翌，严晗，王亮，
申请(专利权)人：广东昭信半导体装备制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44
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