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本实用新型涉及一种红外加热片，包括火线电极、地线电极以及加热片主体，所述加热片主体的形状为波浪形状。本实用新型具有对高温热冲击和热循环有良好的抵抗能力，可靠性高，寿命长的优点。...
该专利属于广东昭信半导体装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东昭信半导体装备制造有限公司授权不得商用。

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