光电器件的制造方法技术

技术编号:6602797 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种光电器件的制造方法,将生产线上的功能相同的设备集中在一起组成特定功能设备区,其它设备围绕所述设备区进行工艺连接。本发明专利技术的方法能够提高大规模生产光电器件的生产线设备工艺一致性和产品性能,提高生产效率和产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电器件制造
,特别是涉及一种。
技术介绍
光电器件在人们的日常生活中有着广泛的应用,光电器件主要包括利用半导体光敏特性工作的光电导器件、利用半导体或有机材料的光电效应工作的光伏器件、和利用半导体薄膜三极管(TFT)调节或驱动各类物质光性能的显示器件等。半导体光电器件包括发光二极管(LED)、光电晶体管、TFT-IXD液晶显示器件、LED平板显示器件等,此外还有AMIXD 宽温液晶显示屏,又叫主动式矩阵(Active Matrix)液晶显示器。半导体光伏器件包括单晶硅、多晶硅、硅基薄膜太阳能电池、CIGS薄膜电池等。随着能源消耗的不断增加,作为能源的主要来源,石油和煤炭的大量使用所导致的二氧化碳排放严重地污染生态环境,而且石油和煤炭资源也面临枯竭的境地,因此,寻求低碳排放而又取之不尽的可再生能源变得越来越紧迫,而太阳能正是这样一种取之不尽用之不竭的可再生新能源。人们对基于光伏效应的太阳能电池的开发和利用日趋重视,市场对更大面积、更轻更薄且生产成本更低的新型太阳能电池的需求日益增加。在这些新型太阳能电池中,基于硅材料的合金薄膜(例如非晶硅a-Si:H)太阳能电池本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电器件的制造方法,其特征在于:将生产线上的功能相同的设备组集中在一起组成特定功能设备区,其它设备围绕所述设备区进行工艺连接。

【技术特征摘要】
1.一种光电器件的制造方法,其特征在于将生产线上的功能相同的设备组集中在一起组成特定功能设备区,其它设备围绕所述设备区进行工艺连接。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于所述设备光电器件包括太阳能电池和发光二极管。3.根据权利要求3所述的方法,其特征在于所述设备区包括与生产光电器件所需的工艺要求相当的复数个设备组。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于所述功能相同的设备包括光刻设备或激光划线设备。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于所述设备组包括甩胶设备、曝光设备、显影和定影设备。6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于所述设备组包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:林朝晖
申请(专利权)人:泉州市金太阳电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:35

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