真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法制造方法及图纸

一种真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法。该真空压印装置及该真空压合装置分别包含一真空室、一下载台、一上载台及一固化装置。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，并能朝向该下载台移动以实施压印或平铺的操作。该固化装置用以固化一光学胶层以形成一光学层。该制造方法分别利用该真空压印装置及该真空压合装置于一基板上形成多个光学层，进而形成该层状光学组件。本发明专利技术使用机具于真空环境中形成光学胶层，以有效抑制固化后于该光学层形成的层状结构中产生的气泡现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种层状光学组件的制造方法及其使用的压印装置、 压合装置，特别是利用真空工艺的层状光学组件制造方法及其使用的真空压印装置、真空压合装置。
技术介绍
现有技术的层状光学组件是于一基板上形成多层光学层制作，此多层光学层依序利用光学胶固化形成，其中，光学层上可依需要利用模板印制图案。在现有技术的工艺中， 该层状光学组件于大气环境下经由涂布、滚压、固化等工序依序分别制作形成。于滚压工序中，操作人工需将模板或保护膜以与光学胶层进行贴合对位，再以滚压轮进行滚压，此易造成贴合精度不足、贴合及滚压易引入气泡、滚压不易控制压合间隙及固化前需移转机台易造成光学胶层厚度变异。此外，于采用使用模板的滚压工序以形成光学层流程中，该模板于光学胶层固化后，尚需人工脱模，但由于人工脱模作业存在着较大的不确定因素，容易产生工艺不稳定性的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种真空压印装置，利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制光学层的厚度尺寸并抑制固化后于各光学层间产生的气泡现象。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种真空压印装置，包含一真空室、一下载台、 一上载台及一固化装置。该下载台设置于该真空室内，用以承载一基板，其上设置有一光学胶层。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一模板，该上载台能朝向该下载台移动以使该模板压印一图案于该光学胶层上。该固化装置用以固化该压印的光学胶层以形成一光学层于该基板上。藉此，该真空压印装置利用真空抑制该模板压印该光学胶层时引入空隙的可能性，并且可平稳且精确地控制该上载台下压，使得该固化后的光学层厚度均勻且无气泡。本专利技术的另一目的在于提供一种真空压合装置，也利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制光学层的厚度尺寸并抑制固化后于光学层与保护膜间产生的气泡现象。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种真空压合装置，包含一真空室、一下载台、 一上载台及一固化装置。该下载台设置于该真空室内，用以承载一基板，其上形成有一第一光学层，该第一光学层上设置有一光学胶层。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内， 用以承载一保护膜，该上载台能朝向该下载台移动以使该保护膜平铺于该光学胶层上。该固化装置用以固化该光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上。藉此，该真空压合装置也利用真空抑制该保护膜平铺于该光学胶层上时引入空隙的可能性，并且可平稳且精确地控制该上载台下压，使得该固化后的第二光学层厚度均勻且无气泡。本专利技术的又一目的在于提供一种制造方法，利用本专利技术的真空压印装置及真空压合装置以制造一层状光学组件，故该制造方法也利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制该层状光学组件的各光学层的厚度尺寸并抑制固化后于该层状光学组件的层状结构中产生的气泡现象。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种层状光学组件的制造方法，利用本专利技术的真空压印装置及真空压合装置以制造一层状光学组件，该真空压印装置包含一第一真空室、一第一下载台、一第一上载台及一第一固化装置，该真空压合装置包含一第二真空室、 一第二下载台、一第二上载台及一第二固化装置，该第一下载台及该第一上载 台设置于该第一真空室内，该第二下载台及该第二上载台设置于该第二真空室内；其它进一步说明，请参阅前述说明，不再赘述。该制造方法包含准备一基板，放置于该第一下载台上；于该基板上涂布一第一光学胶层；准备一模板，固定于该第一上载台上；对该第一真空室抽真空； 使该第一上载台朝向该第一下载台移动以使该模板压印一图案于该第一光学胶层上；利用该第一固化装置固化该压印的第一光学胶层以形成一第一光学层于该基板上；取出该基板及该第一光学层；放置该基板及该第一光学层于该第二下载台上；于该第一光学层上涂布一第二光学胶层；准备一保护膜，固定于该第二上载台上；对该第二真空室抽真空；使该第一上载台朝向该第二下载台移动以使该保护膜平铺于该第二光学胶层上；以及利用该第二固化装置固化该第二光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上，进而形成该层状光学组件。藉此，该层状光学组件的该基板、该第一光学层、该第二光学层及该保护膜可被精确地定位，该第一光学层及该第二光学层的厚度能被精确控制，该第一光学层、该第二光学层及该保护膜间也可紧密贴合。本专利技术的技术效果在于本专利技术于真空环境中形成光学胶层，以有效抑制固化后于该光学层形成的层状结构中产生的气泡现象，并且采用机具以提升工艺精度，排除人工操作的不稳定性，故本专利技术能有效解决现有技术的问题。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。 附图说明图1为根据本专利技术的一较佳实施例的真空压印装置的示意图；图2为图1中真空压印装置于另一状态的示意图；图3为上载台、伺服轴及间隙感测装置的相对设置位置的示意图；图4为顶针、模板及夹持件的相对设置位置的示意图；图5为光学层自模板脱模的示意图；图6为根据本专利技术的另一较佳实施例的真空压合装置的示意图；图7为图6中真空压合装置于另一状态的示意图；图8为工具的示意图；图9为根据本专利技术的一较佳实施例的层状光学组件的制造方法的流程图；图10为层状光学组件的示意图。其中，附图标记1真空压印装置4层状光学组件5真空压合装置12、52真空室14、54下载台16、56上载台18、58固化装置20模板22夹持件24磁铁26、68伺服 轴28、70间隙感测装置30顶针32吹气装置42基板44、46光学胶层45第一光学层47第二光学层60保护膜62磁铁64固定板66工具72加热装置122、522底板124、524 罩体162 重心182、582紫外光灯222滑槽262夹角322喷嘴562通气孔662支架664固定部666真空吸盘SlOO S124实施步骤具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作原理作具体的描述请参阅图1及图2，图1为根据本专利技术的一较佳实施例的真空压印装置1的示意图，图2为图1中真空压印装置1于另一状态的示意图。真空压印装置1包含一真空室12、 一下载台14、一上载台16及一固化装置18。真空室12主要由一底板122及一罩体124组成，罩体124可相对于底板122分离，以供对象置入操作；当底板122及罩体124闭合时，如图2所示，即可对真空室12进行抽真空操作，其中抽气装置为现有技术，不另说明及在图中绘示。下载台14设置于真空室12内、底板122上，用以承载一基板42，其上设置有一光学胶层44。上载台16相对于下载台14设置于真空室12内，用以承载一模板20，上载台16 能朝向下载台14移动以使模板20压印一图案于光学胶层44上。固化装置18用以固化压印的光学胶层44以形成一光学层于基板42上。进一步来说，真空压印装置1包含多个L形夹持件22，设置于上载台16上以形成一滑槽222，模板20可滑入滑槽222中并被夹持件22夹持。于实践上，模板20可为一镍板，此时真空压印装置1还可包含多个磁铁24，可移动地设置于上载台16中，用以吸附模板20于上载台16上；藉此，当磁铁24朝向下载台14移动时，磁铁24可磁吸模板20于上载台16上，且当磁铁24远离下载台14移动时，可解除对模板20的磁吸作用，以将模板20 自上载台16移开。补充说明的是，前述L形夹持件22与磁铁24可择一使用，本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种真空压印装置，其特征在于，包含：一真空室；一下载台，设置于该真空室内，用以承载一基板，其上设置有一光学胶层；一上载台，相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一模板，该上载台能朝向该下载台移动以使该模板压印一图案于该光学胶层上；以及一固化装置，用以固化该压印的光学胶层以形成一光学层于该基板上。

【技术特征摘要】
2010.12.29 TW 0991465821.一种真空压印装置，其特征在于，包含一真空室；一下载台，设置于该真空室内，用以承载一基板，其上设置有一光学胶层；一上载台，相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一模板，该上载台能朝向该下载台移动以使该模板压印一图案于该光学胶层上；以及一固化装置，用以固化该压印的光学胶层以形成一光学层于该基板上。2.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含多个L形夹持件，设置于该上载台上以形成一滑槽，用以夹持该模板。3.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一磁铁，可移动地设置于该上载台中，用以吸附该模板于该上载台上。4.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含三伺服轴，与该上载台连接，用以驱动该上载台相对于该下载台移动。5.如权利要求4所述的真空压印装置，其特征在于，还包含三间隙感测装置，对应该三伺服轴设置于该下载台，用以控制该上载台的移动。6.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，该固化装置包含一紫外光灯，用以照射紫外光于该光学胶层以固化形成该光学层。7.如权利要求6所述的真空压印装置，其特征在于，该下载台为透明，该紫外光灯设置于该下载台下方。8.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一顶针，贯穿该上载台设置，用以顶弯该模板。9.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一吹气装置，设置于该下载台旁，用以朝向该模板与该光学层吹气。10.一种真空压合装置，其特征在于，包含一真空室；一下载台，设置于该真空室内，用以承载一基板，其上形成有一第一光学层，该第一光学层上设置有一光学胶层；一上载台，相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一保护膜，该上载台能朝向该下载台移动以使该保护膜平铺于该光学胶层上；以及一固化装置，用以固化该光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上。11.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，还包含二磁铁及二固定板，该磁铁设置于该上载台内，该固定板对应该磁铁吸附于该上载台上，用以固定该保护膜。12.如权利要求11所述的真空压合装置，其特征在于，还包含一工具，该工具包含二真空吸盘，用以利用该真空吸盘吸附该保护膜，再伸入该真空室中以固定该保护膜于该上载台上。13.如权利要求11所述的真空压合装置，其特征在于，该上载台包含多个通气孔，用以对该通气孔抽气以真空吸附该保护膜于该上载台上，以及用以对该通气孔通气以自该上载台分离该保护膜。14.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，还包含三伺服轴，与该上载台连接，用以驱动该上载台相对于该下载台移动。15.如权利要求14所述的真空压合装置，其特征在于，还包含三间隙感测装置，对应该三伺服轴设置于该下载台，用以控制该上载台的移动。16.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该固化装置包含一紫外光灯，用以照射紫外光于该光学胶层以固化形成该第二光学层。17.如权利要求16所述的真空压合装置，其特征在于，该上载台为透明，该紫外光灯设置于该上载台上方。18.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该下载台还包含一加热装置，用以加热该光学胶层。19.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该保护膜具有一配向结构，用以压印该配向结构于该光学胶层上。20.一种制造方法，利用一真空压印装置及一真空压合装置以制造一层状光学组件， 其特征在于，该真空压印装置包含一第一真空室、一第一下载台、一第一上载台及一第一固化装置，该真空压合装置包含一第二真空室、一第二下载台、一第二上载台及一第二固化装置，该第一下载台及该第一上载台设置于该第一真空室内，该第二下载台及该第二上载台设置于该第二真空室内，该制造方法包含下列步骤a准备一基板，放置于该第一下载台上； b于该基板上涂布一第一光学胶层； c准备一模板，固定于该第一上载台上； d对该第一真空室抽真空；e使该第一上载台朝向该第一下载台移动以使该模板压印一图案于该第一光学胶层上；f利用该第一固化装置固化该压印的第一光学胶层以形成一第一光学层于该基板上； g取出该基板及该第一光学层； h放置该基板及该第一光学层于该第二下载台上； i于该第一光学层上涂布一第二光学胶层； j准备一保护膜，固定于该第二上载台上； k对该第二真空室抽真空；1使该第一上载台朝向该第二下载台移动以使该保护膜平铺于该第二光学胶层上；以及m...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣井，黄建森，赵文魁，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71