硅粉加料机制造技术

技术编号:6436802 阅读:203 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗,硅粉加料机包括齿轮传动装置和通过螺栓固定于齿轮传动装置外部的防护罩,所述齿轮传动装置与防护罩之间设置O型密封圈,所述O型密封圈采用四氟材料;本实用新型专利技术对密封圈材料的改进可以使加料机密封效果大大提高了,密封圈的更换次数由原1次/3天到现在1次/数月,这样大大减少了维修人员的工作量,同时也有利于连续生产;本实用新型专利技术更加适用于摩擦大、有酸性气体的环境;同时,在进加料机氮气管路上增设氮气缓冲罐,以保证氮气压力波动时氮封压力稳定。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产工艺中三氯氢硅合成设备,尤其是可以加强硅粉加料机密封效果。
技术介绍
三氯氢硅合成是改良西门子工艺生产多晶硅的重要一环,生产三氯氢硅硅粉进料一般是采用硅粉加料机连续给料。此种进料方式对加料机要求较高(耐磨、耐腐蚀),加料机机械密封易泄漏,这严重制约了三氯氢硅合成工序运行。目前多晶硅生产已进入薄利时代,保持三氯氢硅合成工序长时间连续生产,实现多晶硅闭路循环显得由为重要。硅粉加料机的工作原理是:硅粉加料机主体是一个齿轮转动装置,把主体内腔分成了八部分。齿轮转动装置靠电动机驱动,在电动机驱动下把硅粉一斗一斗加入三氯氢硅合成炉,然后通过调节电动机的转速来调节硅粉进料速度。硅粉加料机密封分为机械密封(简称机封)和氮气密封(简称氮封)。机封采用普通石墨盘根密封,而氮封的主要是防止机械密封松动。硅粉加料机运行时工作压力在0.2-0.4Mpa,在输送硅粉的时会伴有氯化氢气体,原石墨盘根机械密封易损坏。另三氯氢硅合成工序使用氮气较频繁,氮气压力波动较大,氮封效果不好,机械密封易松动。
技术实现思路
本技术为解决上述技术问题,提供了新型的硅粉加料机,特别是密封装置,可以大大加强加料机密封效果,有利于硅粉加料机连续运行。本技术的技术方案如下:硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗,硅粉加料机包括齿轮传动装置和通过螺栓固定于齿轮传动装置外部的防护罩,其特征在于:齿轮传动装置与防护罩之间设置O型密封圈,所述O型密封圈为在-100℃~100℃之间能够具有良好的机械强度的四氟材料。所述防护罩上连接设置有氮气缓冲罐。氮气缓冲罐通过防护罩通入氮气至防护罩和齿轮传动装置之间,可以调节通入的氮气压力高于加料机内部运行压力,从而防止密封圈被加料机内部运行压力振松。加料机和氮气缓冲罐之间还设置有减压阀。防护罩下端的螺栓与齿轮传动装置之间还设置有配接环。本技术的有益效果如下:本技术对密封圈材料的改进可以使加料机密封效果大大提高了,密封圈的更换次数由原1次/3天到现在1次/数月,这样大大减少了维修人员的工作量,同时也有利于连续生产;本技术更加适用于摩擦大、有酸性气体的环境;同时,在进加料机氮气管路上增设氮气缓冲罐,以保证氮气压力波动时氮封压力稳定。附图说明图1为本技术的机械密封结构示意图-->图2为本技术连接氮气缓冲罐的结构示意图具体实施方式如图1-2所示;硅粉加料机9,上端连接有硅粉料斗8,硅粉加料机9包括齿轮传动装置5和通过螺栓1固定于齿轮传动装置5外部的防护罩2,齿轮传动装置5与防护罩2之间设置O型密封圈3,所述O型密封圈3为在-100℃~100℃之间能够具有良好的机械强度的四氟材料。所述防护罩2上连接设置有氮气缓冲罐6。氮气缓冲罐6通过防护罩2通入氮气至防护罩2和齿轮传动装置5之间,可以调节通入的氮气压力高于硅粉加料机9内部运行压力,从而防止O型密封圈3被硅粉加料机9内部运行压力振松。硅粉加料机9和氮气缓冲罐6之间还设置有减压阀7。防护罩2下端的螺栓1与齿轮传动装置5之间还设置有配接环4。在进加料机氮气管路上增设氮气缓冲罐,以保证氮气压力波动时氮封压力稳定,氮气缓冲罐基本数据见表1。表1硅粉加料机氮封氮气缓冲罐数据表密封圈材料选型经过多次试验,由原普通石墨填料更换为四氟材料,规格为10×10,其密封效果较好。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗(8),硅粉加料机包括齿轮传动装置(5)和通过螺栓(1)固定于齿轮传动装置(5)外部的防护罩(2),其特征在于:齿轮传动装置(5)与防护罩(2)之间设置O型密封圈(3),所述O型密封圈(3)采用四氟材料。

【技术特征摘要】
1.硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗(8),硅粉加料机包括齿轮传动装置(5)和通过螺栓(1)固定于齿轮传动装置(5)外部的防护罩(2),其特征在于:齿轮传动装置(5)与防护罩(2)之间设置O型密封圈(3),所述O型密封圈(3)采用四氟材料。2.根据权利要求1所述的硅粉加料...

【专利技术属性】
技术研发人员:谌亮刘科马鹏陈少华
申请(专利权)人:天威四川硅业有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]

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