【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产工艺中三氯氢硅合成设备,尤其是可以加强硅粉加料机密封效果。
技术介绍
三氯氢硅合成是改良西门子工艺生产多晶硅的重要一环,生产三氯氢硅硅粉进料一般是采用硅粉加料机连续给料。此种进料方式对加料机要求较高(耐磨、耐腐蚀),加料机机械密封易泄漏,这严重制约了三氯氢硅合成工序运行。目前多晶硅生产已进入薄利时代,保持三氯氢硅合成工序长时间连续生产,实现多晶硅闭路循环显得由为重要。硅粉加料机的工作原理是:硅粉加料机主体是一个齿轮转动装置,把主体内腔分成了八部分。齿轮转动装置靠电动机驱动,在电动机驱动下把硅粉一斗一斗加入三氯氢硅合成炉,然后通过调节电动机的转速来调节硅粉进料速度。硅粉加料机密封分为机械密封(简称机封)和氮气密封(简称氮封)。机封采用普通石墨盘根密封,而氮封的主要是防止机械密封松动。硅粉加料机运行时工作压力在0.2-0.4Mpa,在输送硅粉的时会伴有氯化氢气体,原石墨盘根机械密封易损坏。另三氯氢硅合成工序使用氮气较频繁,氮气压力波动较大,氮封效果不好,机械密封易松动。
技术实现思路
本技术为解决上述技术问题,提供了新型的硅粉加料机,特别是密封装置,可以大大加强加料机密封效果,有利于硅粉加料机连续运行。本技术的技术方案如下:硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗,硅粉加料机包括齿轮传动装置和通过螺栓固定于齿轮传动装置外部的防护罩,其特征在于:齿轮传动装置与防护罩之间设置O型密封圈,所述O型密封圈为在-100℃~100℃之间能够具有良好的机械强度的四氟材料。所述防护罩上连接设置有氮气缓冲罐。氮气缓冲罐通过防护罩通入氮气至防护罩和齿轮传动装置之间,可以调节通 ...
【技术保护点】
硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗(8),硅粉加料机包括齿轮传动装置(5)和通过螺栓(1)固定于齿轮传动装置(5)外部的防护罩(2),其特征在于:齿轮传动装置(5)与防护罩(2)之间设置O型密封圈(3),所述O型密封圈(3)采用四氟材料。
【技术特征摘要】
1.硅粉加料机,上端连接有硅粉料斗(8),硅粉加料机包括齿轮传动装置(5)和通过螺栓(1)固定于齿轮传动装置(5)外部的防护罩(2),其特征在于:齿轮传动装置(5)与防护罩(2)之间设置O型密封圈(3),所述O型密封圈(3)采用四氟材料。2.根据权利要求1所述的硅粉加料...
【专利技术属性】
技术研发人员:谌亮,刘科,马鹏,陈少华,
申请(专利权)人:天威四川硅业有限责任公司,
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]
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