【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种超净高纯级磷酸提取装置，属于电子化学品生产设备技术领 域。
技术介绍
磷酸(H3P04) —种重要的无机酸，是化肥工业生产中重要的中间产品，用于生产 高浓度磷肥和复合肥料。磷酸还是肥皂、洗涤剂、金属表面处理剂、食品添加剂、饲料添加剂 和水处理剂等所用的各种磷酸盐、磷酸酯的原料。作为磷肥生产的原料，是正磷酸或多磷酸 的水溶液，商品正磷酸的浓度一般为52% 54%。在电子化学品领域，作为酸性腐蚀剂使用。用于电子化学领域的化学产品，要求达 到MOS (金属-氧化物-半导体)标准，即金属杂质含量小于lOOppb，控制1微米粒径粒子 达到SEMI Cl C2标准，适合中小规模集成电路及TFT-IXD等微电子领域的加工工艺。而工 业级磷酸中含有较多的金属杂质和硫，不能满足微电子领域使用要求。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供一种能降低磷酸中的金属杂质和硫含 量、且可满足微电子领域使用要求的超净高纯级磷酸提取装置。本技术的目的是这样实现的一种超净高纯级磷酸提取装置，其特征在于它 包括原料槽、萃取器、溶剂槽、脱硫槽、过滤器、洗涤器、反萃取器、成品槽和碳酸钡溶液槽；所述原料槽和溶剂槽出口分别与萃取器进口相连，所述萃取器出口与脱硫槽进口 相连，所述脱硫槽进口上还连接有碳酸钡溶液槽，所述脱硫槽出口与过滤器进口相连，所述 过滤器出口与洗涤器进口相连，所述洗涤器出口与反萃取器进口相连，所述反萃取器出口 与成品槽相连。本技术的有益效果是本技术超净高纯级磷酸提取装置，能降低磷酸中的金属杂质和硫含量、且可 满足微电子领域使用要求。生成的超净高纯级磷酸可达到MO...
【技术保护点】
一种超净高纯级磷酸提取装置，其特征在于：它包括原料槽（１）、萃取器（２）、溶剂槽（３）、脱硫槽（４）、过滤器（５）、洗涤器（６）、反萃取器（７）、成品槽（８）和碳酸钡溶液槽（９）；所述原料槽（１）和溶剂槽（３）出口分别与萃取器（２）进口相连，所述萃取器（２）出口与脱硫槽（４）进口相连，所述脱硫槽（４）进口上还连接有碳酸钡溶液槽（９），所述脱硫槽（４）出口与过滤器（５）进口相连，所述过滤器（５）出口与洗涤器（６）进口相连，所述洗涤器（６）出口与反萃取器（７）进口相连，所述反萃取器（７）出口与成品槽（８）相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴市润玛电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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