用于等离子刻蚀机的异常检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器；所述异常检测系统包括：连接在所述ＰＬＣ和刻蚀反应室之间用于检测刻蚀反应室内的辉光的光源检测装置。本实用新型专利技术能检测刻蚀反应室内的辉光，并进行显示或报警，提醒操作人员，从而避免刻蚀机在刻蚀反应室内辉光异常的情况下工作，而产生不良电池片制成成品片的情况。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能光伏领域，更具体的涉及光伏电池制造设备领域的等离子刻蚀机的异常检测系统。
技术介绍
在采用干法刻蚀机刻蚀电池片时，由于刻蚀机的电源频率太高(13.56MHZ)，电源易受干扰而产生波动。如图1所示，现有等离子刻蚀机包括与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内的反应气体流量的流量计，与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；以及与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器(PLC)。上述现有技术的逻辑控制结构存在如下问题：在刻蚀过程中，如果流量计出现测量流量不准、高频电源出现工作不稳定和/或反应室出现微弱漏气，而操作人员没有及时发现，将有大量刻蚀效果不良漏电大的电池片将被做成成品片，从而造成电池片良品率下降，进而造成很大的损失。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，该系统能够在刻蚀反应室出现辉光异常时，产生报警信号，提示操作人员，从而避免不良电池片做成成品片。为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术方案：一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器ＰＬＣ；其特征在于，所述异常检测系统包括：连接在所述ＰＬＣ和刻蚀反应室之间用于检测刻蚀反应室内的辉光强度和／或辉光颜色的光源检测装置。

【技术特征摘要】
1.一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器PLC；其特征在于，所述异常检测系统包括：连接在所述PLC和刻蚀反应室之间用于检测刻蚀反应室内的辉光强度和/或辉光颜色的光源检测装置。2.根据权利要求1所述的用于等离子刻蚀机的异常检测系统，其特征在于，所述光源检测装置包括：用于检测刻蚀反应室的辉光强度大小，并将光信号转变成电信号的感光元件；以及用于接收来自感光元件的电信号的测量仪表。3.根据权利要求1所述的用于等离子刻蚀机的异常检测系统，其特征在于，所述异常检测系统还包括：与所述光源检测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓许，苏世杰，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，洛阳尚德太阳能电力有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]