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本实用新型公开了一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控...该专利属于无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。