【技术实现步骤摘要】
本技术涉及同一平面等离子体发生器，尤其是安装在一个平面支架上的多个 等离子体喷口向外喷射等离子体束流的系统。
技术介绍
常压等离子体技术是在近年才迅速发展起来的、并已得到广泛应用的新技术，它 可应用于(1)表面清洗(例如清洗表面生化污染、表面有机污染)。(2)材料表面的改性。表面消毒和灭菌等等。在传统上，常压等离子体一般是采用高频高压放电，电源输出电压高，所产生的等 离子体是丝状放电，不能产生辉光放电，不适合对敏感材料的表面处理等；另外，常压辉光 等离子体喷枪一般所采用的电源是13. 56MHz，该种电源体积大，价格高，不便用于多个发生 器束流放电，从而限制了常规射频等离子体喷枪的应用范围，更不适合对大面积材料表面 处理的要求。本技术介绍了同一平面等离子体发生器，是采用多个放电单元的集成，每个 放电管对应一个供电电源，每个电源的放电频率是6. 78MHz，该射频电源功耗仅为十几瓦到 几十瓦，结构简单，更易于安装，和多个等离子体放电管构成了一种新型的多喷头的等离子 体发生器。
技术实现思路
为了达到上述目的，本技术公开了同一平面等离子体发生器，包括多个射频 电源和多个等离...
【技术保护点】
本实用新型公开了同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：多个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口构成一个水平面，其中每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构成，石英管所包覆的管电极的一端是在石英管内，另一端是在管外，一个射频电源分别与石英管中的内电极和其外电极连接，石英管所包覆的金属管电极与一个进气管连接，进气管的另一端是通过气体减压阀与气瓶连接，当气体通过石英管所包覆的金属管电极的端部时电离生成等离子体，并由石英管的喷口喷出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王守国，
申请(专利权)人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
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