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本实用新型公开了同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：多个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口构成一个水平面，其中每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构...
该专利属于中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心授权不得商用。

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