本实用新型专利技术公开了一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统。本实用新型专利技术提供的实施例通过对整列针和整列针清洗装置结构上的匹配改变，使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时，促使整列针旋转，更好地达到清洗目的；解决了原整列针清洗不干净给后续工序带来的问题；避免由于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板，从而提高良品率；同时还可以避免污染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display;以下 简称TFT-LCD)的生产过程中，需进行光刻工艺。光刻工艺首先需在玻璃基板上涂布均勻 的光刻胶，然后进行后续工艺。现有涂胶工艺有两种，一种是直涂式，直接在玻璃基板上涂布均勻的光刻胶，无需 对玻璃基板进行离心旋转；另一种是预涂式，在玻璃基板上部分区域涂布光刻胶，然后利用 离心设备将玻璃基板旋转，使得玻璃上预涂的光刻胶均勻覆盖整个玻璃基板，且具有较好 的平整度。玻璃基板经过离心设备旋转后，在进入下一道工序前，需要对流水线上的玻璃基 板进行整列，避免由于流水线上基板偏移而导致下一道工序中玻璃基板被撞碎。现有的基 板整列装置是采用气动方式即利用控制气阀开关信号来推动气缸往复运动，带动安装在支 架上的整列针(Pin)对基板从前后左右四个方向进行推移，当基板偏移时，由玻璃基板四 周的整列针将基板推移到合适位置。涂胶工序中，光刻胶会不可避免地附着在玻璃基板的侧面，且具有较强的粘性，当 整列针接触玻璃基板对其进行整列后，整列针上会粘黏光刻胶。为了保证后续整列过程的 顺利进行，通常应用整列针清洗装置对整列针进行清洗，去除其粘黏的光刻胶。现有的整列针清洗装置中，喷射清洗液对整列针进行清洗的四个清洗针分布在垂 直于整列针中心线的平面的四个方向上，对整列针进行清洗时，相对的两个清洗针所喷射 出来的清洗液是处于同一直线的，整列针在清洗过程中始终处于静止状态，整列针上粘黏 的光刻胶难以清洗干净。若长时间清洗不干净，光刻胶会在整列针上形成硬块，进行整列时 有可能将玻璃基板撞碎。而且，由于整列针上附着的光刻胶会对玻璃基板的侧面造成污染， 当玻璃基板进入到后续工艺的处理设备时，将对该处理设备造成污染。
技术实现思路
本技术提供一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统，在应用整列针 清洗装置清洗整列针的同时促使整列针旋转，将整列针清洗干净。本技术提供一种整列针，包括用于与基板接触的接触柱体，在所述接触柱体 上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。如上所述的整列针，其中，所述旋转装置为设置在所述接触柱体上的至少一个能 够基于空气流动而带动所述接触柱体进行旋转的叶轮。如上所述的整列针，其中，所述接触柱体上还设置有用于带动所述接触柱体以所 述接触柱体的中心线为轴进行旋转的外螺纹套，所述叶轮设置在所述外螺纹套的外表面 上。如上所述的整列针，其中，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线平行。如上所述的整列针，其中，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线的夹角为a， 其中0 < a彡90°。如上所述的整列针，其中，在所述外螺纹套的外表面上设置有多个所述叶轮，且多 个所述叶轮均勻分布。本技术提供一种整列针清洗装置，包括用于对整列针上用于与基板接触的接 触柱体进行清洗的基座，所述基座的一端设置有用于容置所述接触柱体的凹槽，所述凹槽 的侧壁上设置有用于向容置在所述凹槽内的接触柱体喷射清洗液的清洗装置，在所述基座 上方还设置有一换风管，所述换风管能够促使空气流动而带动所述叶轮进行旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述基座的另一端还设置有一用于回收清洗 液的负压排气管。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管与所述负压排气管连通，用于通过 吸附所述接触柱体周围的空气触发所述接触柱体旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管与一鼓风设备连接，用于通过向所 述接触柱体喷气触发所述接触柱体旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管包括两个支管，所述两个支管的换 风口分别位于所述接触柱体的两侧，且相对设置。本技术提供一种整列针清洗系统，包括上述的整列针和整列针清洗装置。本技术提供的整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统，通过对整列针和 整列针清洗装置结构上的匹配改变，使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时，促使整列 针旋转，更好地达到清洗目的；解决了原整列针清洗不干净而给后序带来的问题；避免由 于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板，提高良品率。同时还可以 避免污染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。附图说明图1为本技术一实施例提供的整列针结构示意图；图2为图1的剖面示意图；图3为本技术一实施例提供的整列针清洗装置结构示意图；图4为图3的俯视剖面示意图；图5为本技术一实施例提供的整列针清洗系统结构示意图；图6为本技术一实施例提供的整列针清洗系统的工作示意图附图标记1-整列针； 2-整列针清洗装置；12-接触柱体；13- 一字头螺杆；14-固定螺母；15-卡圈；16-球轴承； 17-套筒；18-外螺纹套；19-叶轮； 21-基座；22-凹槽；23-清洗探针；24-负压排气管；25-换风管。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新 型实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描 述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施 例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于 本技术保护的范围。本技术实施例针对现有整列针在清洗过程中因静止导致清洗不干净等缺陷， 提供一种新型的整列针，包括接触柱体，该接触柱体用于对基板进行整列，即作为整列针与 基板相接触的部分。为了实现整列针在清洗时能够进行旋转，本实施例中在接触柱体上设 置一能够带动接触柱体进行旋转的旋转装置，该旋转装置可以基于空气流动或外力触发而 旋转，从而带动接触柱体进行旋转。本实施例中旋转装置可以为至少一个叶轮，该叶轮能够 基于空气流动而带动接触柱体进行旋转。本技术各实施例中，叶轮可以固定设置在接 触柱体上，此时接触柱体可以通过叶轮带动实现旋转。当然也可以通过其他方式实现旋转， 以下结合附图详细介绍如下。图1为本技术一实施例提供的整列针结构示意图，图2为图1的剖面示意图， 如图1和图2所示，该整列针1主体部分呈圆柱形，整列针1是通过位于其下端部的接触柱 体12与基板接触的，也就是说整列针1通过接触柱体12的外表面接触基板的侧面并推动 基板移动，达到整列目的。整列针1还包括一字头螺杆13、固定螺母14、卡圈15、球轴承16、 套筒17和外螺纹套18，其中，一字头螺杆13用于将整列针1通过卡圈15卡设在固定支架 上，外螺纹套18套设在球轴承16和套筒17外，并与接触柱体12连接。外螺纹套18可以通过 球轴承16和套筒17实现以整列针1的中心线为轴进行旋转，由于外螺纹套18与接触柱体12 连接，因此当外螺纹套18旋转时便可以带动接触柱体12旋转，具体地，外螺纹套18与接触柱 体12同轴，因此接触柱体12可以随着外螺纹套18以接触柱体12的中心线为轴进行旋转。为了在被清洗的过程中能够旋转以达到清洗干净的目的，本实施例提供的整列针 在外螺纹套18上增设至少一个叶轮19，具体地，叶轮19设置在外螺纹套18的外表面上，叶 轮19能够基于周边空气的流动而旋转，并且带动本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种整列针，包括用于与基板接触的接触柱体，其特征在于，在所述接触柱体上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：焦宇，张学智，张琨鹏，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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