衬底划分设备和使用其的衬底划分方法技术

本发明专利技术提供一种用于划分具有２个结合在一起的衬底薄片的结合衬底的衬底划分设备和使用所述设备的衬底划分方法。衬底划分设备包含：台，其上安置母衬底，所述台包含一在对应于安置的所述母衬底的既定切割线的位置处形成的切割线支撑部分，以及在所述切割线支撑部分的两侧并排形成的凹面形分裂凹进部分；划线构件，其经配置以按压安置在所述台上的所述母衬底的顶部表面的对应于所述台的所述切割线支撑部分的区，且在所述母衬底中形成切划线；以及分裂构件，其经配置以按压安置在所述台上的所述母衬底的所述顶部表面的对应于所述台的所述分裂凹进部分的区，且划分所述母衬底。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种衬底划分设备(substrate dividing apparatus)和使用其 的衬底划分方法，且更明确地说涉及一种用于划分由两个结合的(bonded)衬底薄片 (substrate sheet)形成的结合衬底的。
技术介绍
一般来说，用于平板显示器(flat panel display)等的面板是使用易碎衬底来制 造，且面板可主要分类为由一个薄片形成的单一薄片衬底和具有2个结合在一起的衬底的 结合衬底。因为结合衬底经制造并用于广范围尺寸的应用，从用于便携式电话的液晶显示器 的小面板到用于TV或显示器的大面板，所以其是从大规模的母衬底(mother substrate) 划分为具有某一尺寸且用于不同面板的单位衬底。划分母衬底的方法包含使用激光束来划分衬底，以及使用内嵌有小金刚石的划线 轮(scribe wheel)来划分衬底。使用划线轮来划分母衬底的方法包含执行划线工艺，其中将划线轮放置成与母 衬底上的待切割的线接触，且接着沿着所述待切割的线移动划线轮以切割具有某一深度的 切划线(scribe line)；以及执行分裂工艺(breakingprocess)，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将母衬底划分为多个单位衬底的衬底划分设备，所述衬底划分设备包括：台，其上安置母衬底，所述台包含一在对应于安置的所述母衬底的既定切割线的位置处形成的切割线支撑部分，以及在所述切割线支撑部分的两侧并排形成的凹面形分裂凹进部分；划线构件，其经配置以按压安置在所述台上的所述母衬底的顶部表面的对应于所述台的所述切割线支撑部分的区，且在所述母衬底中形成切划线；以及分裂构件，其经配置以按压安置在所述台上的所述母衬底的所述顶部表面的对应于所述台的所述分裂凹进部分的区，且划分所述母衬底。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔成宇，林宗燮，朴缗圭，
申请(专利权)人：亚威科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]