下载衬底划分设备和使用其的衬底划分方法的技术资料

文档序号:6109940

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本发明提供一种用于划分具有2个结合在一起的衬底薄片的结合衬底的衬底划分设备和使用所述设备的衬底划分方法。衬底划分设备包含:台,其上安置母衬底,所述台包含一在对应于安置的所述母衬底的既定切割线的位置处形成的切割线支撑部分,以及在所述切割线支撑...
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