一种多线切割硅片的工艺制造技术

技术编号:6094576 阅读:348 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种多线切割硅片的工艺,该工艺先将钢线安装在多线切割机上,然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片;之后,当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时,将放线轮与收线轮的位置互换,测量钢线的直径,更换成符合钢线粗细要求的具有相应槽距的主辊,重新安装在多线切割机上,然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1.5~2.5倍之间切割硅片即可。采用本发明专利技术方法,可以在多线切割硅片的过程中,将使用的钢线用量降低三分之一,提高了钢线的利用率,同时,由双向走线改成单向走线后继续切割,钢线更细,槽距更小,还可增加硅片的出片数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多线切割硅片的工艺,特别是利用钢线带动砂浆中的金刚砂,将硅棒切割成硅片的工艺。
技术介绍
目前,在硅棒切割成硅片的过程中,一般将卷着钢线的放线轮(也称送线轮)上拉出的钢线经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、 收线轮(也称回线轮)安装在多线切割机上,并且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网,然后按一定速度,采取双向走线的方法切割硅片,在全部钢线刚好从头到尾走一遍 (目前刚好是切割硅棒4刀)后就将本卷钢线报废。这种工艺步骤,钢线消耗量很大,增加了较大的生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能提高钢线的利用率的一种多线切割硅片的工艺。本专利技术采取的技术方案是一种多线切割硅片的工艺,其特征在于先将卷着钢线的放线轮上拉出的钢线依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、收线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网,然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片;之后,当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时,将放线轮与收线轮的位置互换,将卷着钢线的收线轮上拉出的钢线重新依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、放线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕重新形成线网,然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1. 5 2. 5倍之间切割硅片即可。所述一种多线切割硅片的工艺,在放线轮与收线轮的位置互换后,还应测量钢线的直径,并将主辊一和主辊二更换成符合钢线粗细要求的具有相应槽距的主辊。采用本专利技术方法,可以在多线切割硅片的过程中,将使用的钢线用量降低三分之一,提高了钢线的利用率,同时,由双向走线改成单向走线后继续切割,钢线更细,槽距更小,还可增加硅片的出片数。具体实施例方式下面对本专利技术作进一步说明。该多线切割硅片的工艺采取如下步骤一、取一卷着钢线的放线轮(也称送线轮),钢线直径在0. 120mm,拉出钢线,将其依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、收线轮(也称回线轮)安装在多线切割机上,并且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网, 其中的主辊一和主辊二的槽距为0. 330mm 0. ;340讓。二、将多线切割机设置成双向走线,开机后让钢线走线速度保持在MOm 270m/ min之间进行切割。三、当钢线走线完毕并卷收在收线轮上后,将放线轮与收线轮的位置互换。四、测量使用过后的钢线的直径为0. 112mm,将上述使用过的槽距为0.330mm 0. 340mm的主辊一和主辊二更换成槽距为0. 320mm 0. 330mm的主辊。五、将上述使用过的钢线从收线轮中拉出,依次经过包括若干个导轮的导轮组一、 主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、放线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网。六、将多线切割机设置成单向走线,开机后让钢线走线速度由原来的MOm 270m/min提高到360m 675m/min进行切割。七、至钢线全部走线完毕后将其报废。这样,通过上述,经测试结果表明,可以在多线切割硅片的过程中,将使用的钢线用量降低三分之一,提高了钢线的利用率,同时,由双向走线改成单向走线后继续切割,钢线更细,槽距更小,还可增加硅片的出片数。权利要求1.一种多线切割硅片的工艺,其特征在于先将卷着钢线的放线轮上拉出的钢线依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、收线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网,然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片;之后,当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时,将放线轮与收线轮的位置互换,将卷着钢线的收线轮上拉出的钢线重新依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、放线轮安装在多线切割机上, 且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕重新形成线网,然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1. 5 2. 5倍之间切割硅片即可。2.根据权利要求1所述一种多线切割硅片的工艺,其特征在于在放线轮与收线轮的位置互换后,还应测量钢线的直径,并将主辊一和主辊二更换成符合钢线粗细要求的具有相应槽距的主辊。全文摘要本专利技术涉及一种多线切割硅片的工艺,该工艺先将钢线安装在多线切割机上,然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片;之后,当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时,将放线轮与收线轮的位置互换,测量钢线的直径,更换成符合钢线粗细要求的具有相应槽距的主辊,重新安装在多线切割机上,然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1.5~2.5倍之间切割硅片即可。采用本专利技术方法,可以在多线切割硅片的过程中,将使用的钢线用量降低三分之一,提高了钢线的利用率,同时,由双向走线改成单向走线后继续切割,钢线更细,槽距更小,还可增加硅片的出片数。文档编号B28D5/04GK102152419SQ201110066758公开日2011年8月17日 申请日期2011年3月18日 优先权日2011年3月18日专利技术者聂在涌, 钱荣林 申请人:浙江荣马电子科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多线切割硅片的工艺,其特征在于先将卷着钢线的放线轮上拉出的钢线依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、收线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网,然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片;之后,当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时,将放线轮与收线轮的位置互换,将卷着钢线的收线轮上拉出的钢线重新依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、放线轮安装在多线切割机上,且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕重新形成线网,然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1.5~2.5倍之间切割硅片即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:钱荣林聂在涌
申请(专利权)人:浙江荣马电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:33

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