The invention relates to an aerostatic thrust bearing, air inlet, ring groove, a plurality of orifices, a plurality of air chambers, gas chamber, a plurality of damping hole, bearing working surface and the plane on the bearing body; the bearing body on the plane perpendicular to the internal position and position in the inner end is provided with air inlet the ring groove has a through hole in the side wall of the ring groove, between inner end of the through hole and the air inlet is connected and communicated; the bearing body is located between the support and the smooth plane, on the plane, bearing working surface of the bearing body is supported in the plane, and a smooth plane in parallel to each other; the bearing working surface of vertical bearing body are respectively arranged in the orifice, gas cavity and orifice two port orifice respectively with the ring groove and the air chamber is connected and communicated, inlet port at the gas storage cavity below each orifice gas; The discharge port of the cavity and the damping hole is positioned on the bearing working surface; an air storage cavity is arranged at the central position of the bearing body; the gas storage cavity is communicated with the bearing working surface through a damping hole.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种空气静压止推轴承,主要用于光刻机、三坐标测量机等设备中运 动部件的设计,属于超精密运动、超精密测量
技术介绍
空气静压止推轴承具有无磨损、摩擦小、低速无爬行、运动精度高等一系列优点, 故广泛应用于超精密运动、精密测量领域,但同时也存在刚度低、承载能力小、稳定性差的 缺点。增大供气压力、改变气腔形状、添加真空或电磁预载等手段可以有效提高空气轴 承的承载能力和刚度,但对轴承稳定性的提高作用并不明显。这是因为现有空气静压止推 轴承结构中,高压气体经小孔节流器进入气腔,再由气腔边缘进入轴承间隙;气腔内压力沿 轴承间隙逐渐减小,至轴承边缘处压力降为环境压力,而系统阻尼主要来自于节流孔和轴 承工作间隙处气体分子受到的粘性摩擦,其阻尼值很小。当轴承受到振动或冲击时,阻尼小 就导致衰减时间过长,系统难以稳定;此外,气源供气的不稳定也会造成轴承的微振动,影 响轴承的静态和动态性能。随着超精密运动、超精密测量技术的发展,其系统精度已达到纳米乃至亚纳米级, 此时系统的微小振动都会对定位、测量结果产生严重影响;空气轴承系统广泛应用于超精 密运动、超精密测量领域,故提高其稳定性具有重大现实意义。
技术实现思路
为了克服现有空气静压止推轴承阻尼小,稳定性差的缺点,本专利技术的目的是提高 空气静压止推轴承的阻尼能力,。为了实现上述目的,本专利技术提供空气静压止推轴承解决技术问题采用的技术方案 如下含有被支撑件、轴承本体和光滑平面;在轴承本体上含有进气口、环槽、多个节流孔、 多个气腔、储气腔、多个阻尼孔和轴承工作面;轴承本体还具有一上平面;沿轴承本体的外 缘和径 ...
【技术保护点】
1.一种空气静压止推轴承,其特征在于:所述空气静压止推轴承含有被支撑件(1)、轴承本体(2)和光滑平面(3);在轴承本体(2)上含有进气口(4)、环槽(5)、多个节流孔(6)、多个气腔(7)、储气腔(8)、多个阻尼孔(9)和轴承工作面(10);轴承本体(2)还具有一上平面(12);沿轴承本体(2)的外缘和径向设置进气口(4);在轴承本体(2)的平面垂直向内部的位置及在进气口(4)内侧端的位置设有环槽(5),在环槽(5)的一侧壁上具有一透孔(11),所述透孔(11)与进气口(4)的内侧端之间紧密连接且相通;轴承本体(2)位于被支撑件(1)和光滑平面(3)之间,轴承本体(2)的上平面(12)和轴承工作面(10)分别与被支撑件(1)的内平面和光滑平面(3)相互平行;在轴承本体(2)的轴承工作面(10)垂直向轴承本体(2)内部的位置分别设置多个节流孔(6)、多个气腔(7)和多个阻尼孔(9),每个节流孔(6)的两端分别与环槽(5)和每个气腔(7)连接并相通,每个阻尼孔(9)的进流端口位于储气腔(8)的下面;每个气腔(7)和每个阻尼孔(9)的出流端口都位于轴承工作面(10)上;压缩空气由进气口(4 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李金龙,胡松,赵立新,徐峰,李兰兰,盛壮,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:90
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