探针卡及用于该探针卡的印刷电路板制造技术

技术编号:6050047 阅读:206 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提出一种探针卡以及用于该探针卡的印刷电路板,用以增进测试时的电源完整性;本发明专利技术的印刷电路板定义一焊点区、一走线区以及一输入区;其中的焊点区包含多个第一电源焊垫组,输入区包含对应该些第一电源焊垫组的多个第二电源焊垫组,且每一第一电源焊垫组绝缘于每一第二电源焊垫组;本发明专利技术的探针卡应用上述的印刷电路板,并结合外接导线或外接电源平面而获得较好的电源完整性。

Probe card and printed circuit board for the probe card

The invention provides a probe card and printed circuit board for the probe card, used to enhance the power integrity test; printed circuit board of the invention of a defined area, a wire solder area and an input area; the weld area comprises a plurality of first power pad group, the input area includes to the first power pad group of over second power pad group, and each group of the first power pad is insulated from each of the second power pad group; a probe card printed circuit board using the above, combined with the external wire or external power plane and power integrity is good the.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针卡,尤其涉及一种电源完整性好的探针卡;本专利技术还涉及一种用于该探针卡的印刷电路板。
技术介绍
在晶圆或电子元件进行测试时,测试机可以一探针卡(probecard)作为媒介,将测试讯号自该探针卡输入至一待测物(deviceimder test,简称DUT),并通过该探针卡将测试结果回传至测试机以进行后续的检测、分析。以晶圆测试为例,受限于测试机的体积、价格等因素,半导体厂对待测物进行测试时,通常只能利用数量、型号有限的测试机台予以测试。由于待测物的测试规格、种类、数量彼此相异,在测试机受限的情况下,测试机无法满足各种不同工艺或是不同种类待测物的测试条件。因此,现有技术是通过测试机内部的程序变化,或是针对探针卡进行改造,借以获取、扩充更多的测试兼容性。现有探针卡的印刷电路板如图1所示,该印刷电路板1部分主要可区分为输入区2、走线区3与焊点区4三大区域,其中探针卡的多个探针(图中未示)可固设于焊点区4的对应焊点或接点。输入区2包含多个数组排列的焊垫5,该些焊垫5包含电源焊垫(powerpad),藉以让测试机提供电源输入。该些电源焊垫通过走线区3内的金属布线进行空间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于探针卡的印刷电路板,其特征在于,所述印刷电路板定义一焊点区(12)、一走线区(13)以及一输入区(14);所述焊点区(12)包含多个第一电源焊垫组(15),每一所述第一电源焊垫组(15)包含多个第一电源焊垫(150),且同一第一电源焊垫组(15)的所述多个第一电源焊垫(150)彼此电性连接;所述输入区(14)包含对应所述多个第一电源焊垫组(15)的多个第二电源焊垫组(16),每一第二电源焊垫组(16)包含多个第二电源焊垫(160),且同一第二电源焊垫组(16)的所述多个第二电源焊垫(160)彼此电性独立;其中,所述多个第一电源焊垫组(15)绝缘于所述多个第二电源焊垫组(16)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:苏文彬谢昭平简志忠张庚生张嘉泰林书侃黄千惠张忠义何家齐
申请(专利权)人:旺矽科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[]

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