探针卡及用于该探针卡的印刷电路板制造技术

本发明专利技术提出一种探针卡以及用于该探针卡的印刷电路板，用以增进测试时的电源完整性；本发明专利技术的印刷电路板定义一焊点区、一走线区以及一输入区；其中的焊点区包含多个第一电源焊垫组，输入区包含对应该些第一电源焊垫组的多个第二电源焊垫组，且每一第一电源焊垫组绝缘于每一第二电源焊垫组；本发明专利技术的探针卡应用上述的印刷电路板，并结合外接导线或外接电源平面而获得较好的电源完整性。

Probe card and printed circuit board for the probe card

The invention provides a probe card and printed circuit board for the probe card, used to enhance the power integrity test; printed circuit board of the invention of a defined area, a wire solder area and an input area; the weld area comprises a plurality of first power pad group, the input area includes to the first power pad group of over second power pad group, and each group of the first power pad is insulated from each of the second power pad group; a probe card printed circuit board using the above, combined with the external wire or external power plane and power integrity is good the.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种电源完整性好的探针卡；本专利技术还涉及一种用于该探针卡的印刷电路板。
技术介绍
在晶圆或电子元件进行测试时，测试机可以一探针卡(probecard)作为媒介，将测试讯号自该探针卡输入至一待测物(deviceimder test，简称DUT)，并通过该探针卡将测试结果回传至测试机以进行后续的检测、分析。以晶圆测试为例，受限于测试机的体积、价格等因素，半导体厂对待测物进行测试时，通常只能利用数量、型号有限的测试机台予以测试。由于待测物的测试规格、种类、数量彼此相异，在测试机受限的情况下，测试机无法满足各种不同工艺或是不同种类待测物的测试条件。因此，现有技术是通过测试机内部的程序变化，或是针对探针卡进行改造，借以获取、扩充更多的测试兼容性。现有探针卡的印刷电路板如图1所示，该印刷电路板1部分主要可区分为输入区2、走线区3与焊点区4三大区域，其中探针卡的多个探针(图中未示)可固设于焊点区4的对应焊点或接点。输入区2包含多个数组排列的焊垫5，该些焊垫5包含电源焊垫(powerpad)，藉以让测试机提供电源输入。该些电源焊垫通过走线区3内的金属布线进行空间转换，并电性连接至焊点区4相对应的电源焊垫或电源环(power ring)，以供应该些探针电源。其中，走线区3内不同区域或分层的电源金属布线定义为不同的电源平面 (powerplane)，且由于印刷电路板1包含多组电源焊垫，因此亦相对应包含多个电源平面。探针卡的印刷电路板为一多层结构，包含上述多个电源平面的分层，以及接地层与讯号层等。由于每一电源平面在走线区须利用一层或多层进行布线(layout)，使得电源平面容易因为穿层而产生结构上的缺陷，亦或是金属导线为了闪避密布于印刷电路板上且贯穿印刷电路板的讯号焊点，而使金属导线的布线路径过于复杂。所以，自电源焊垫输入的电源传经走线区的电源平面时，常常发生电压下降(voltage drop)或产生噪声干扰，如此将影响电源传抵探针的完整性，导致测试误差进而影响测试结果。另一方面，电源平面受限其布线于印刷电路板中，因此线路固定而扩充性不好，无法满足客户端多元的测试需求；若欲增加电源平面的数目，则须提升印刷电路板的布线层数，不仅实际操作上有难度，更将提升整体成本支出而有待解决。
技术实现思路
为此，专利技术的目的在于解决上述问题，进而提出一种电源完整性较好的探针卡，以避免来自测试机的电源供应发生过度的电源下降或噪声干扰；本专利技术的另一目的在于提出一种电源平面可客制化、可随需求更替使用的探针卡。为了实现前述目的，本专利技术将探针卡的电源平面独立于印刷电路板外，并利用 外接导线或外接电源平面的方式，使直流电源供应(power supply)自输入区传抵焊点区。本专利技术提出一种用于探针卡的印刷电路板，该印刷电路板定义一焊点区、一走线区以及一输入区；该焊点区包含多个第一电源焊垫组，该输入区包含对应该些第一电源焊垫组的多个第二电源焊垫组，且该些第一电源焊垫组绝缘于该些第二电源焊垫组。在上述一实施例中，本专利技术提出一种应用上述印刷电路板的探针卡，该探针卡包含至少一外接导线，该外接导线可电性连接第一电源焊垫组与第二电源焊垫组以供应电源。在上述的另一实施例中，本专利技术提出一种应用上述印刷电路板的探针卡，该探针卡包含至少一外接电源平面，该外接电源平面可电性连接第一电源焊垫组与第二电源焊垫组以供应电源。由于以外接导线或外接电源平面可避免电源因印刷电路板内的分层或布线而衰减，因此可以保持较好的电源完整性，并进而增进测试的准确度。另一方面，由于外接电源平面可客制化，可依需求更换，因此其兼容性高，可节省测试厂商的成本支出。有关本专利技术的详细
技术实现思路
及优选实施例，配合附图说明如后。附图说明本专利技术的实施例是结合附图予以描述图1为现有探针卡的一印刷电路板示意图；图2-1为本专利技术一印刷电路板一实施例的结构示意图；图2-2为本专利技术一印刷电路板一实施例的剖面示意图；图3-1为本专利技术一探针卡实施例的俯视示意图；图3-2为本专利技术一探针卡实施例的截面示意图；图4-1为本专利技术另一探针卡实施例的俯视示意图；图4-2为本专利技术另一探针卡实施例的截面示意图；图5为本专利技术一外接电源平面实施例的结构示意图；图6-1为本专利技术一外接电源平面用于一探针卡的截面示意图；图6-2为本专利技术另一外接电源平面实施例的立体示意图；以及图7为本专利技术另一外接电源平面实施例的立体示意图。具体实施方式 本专利技术在探针卡的一实施例中，将电源平面独立于印刷电路板，并利用外接式电源平面或直接打线连接等方式，使探针获得电源供应。有关本专利技术的详细说明及
技术实现思路
， 现配合附图说明如下请参阅图2-1及图2-2所示，其为本专利技术的探针卡10中，一印刷电路板11实施例的结构示意图及剖面示意图，如图所示本实施例的印刷电路板11包含焊点区12、走线区 13以及输入区14。其中，焊点区12定义为印刷电路板11靠近内圈包含测试、电源(电源环)等不同焊垫、接点的设置区域；输入区14定义为印刷电路板11靠近外圈包含电性接点 17、电源焊垫160等的设置区域，借以让测试机输入各式电气讯号；走线区13则定义为焊点区12与输入区14之间的区域。须再加以定义、说明的是，实务上，上述的输入区14可再区分为测试区141与转接区142。其中，测试区141泛指输入区14的外圈部分，包含多个电性接点17可供测试机的弹簧针点触，该些电性接点17包含测试接点和电源接点171 (请见图2-2)，因此测试机可将电气讯号及电源输入该探针卡10 ；转接区142则包含多个电源焊垫160，该些电源焊垫160 电性连接测试区141内对应的电源接点171，如图2-2所示。因此，在以下的说明中，输入区 14的电源焊垫(组)16、160实质上指转接区142内的电源焊垫160。在本专利技术的印刷电路板11 一实施例中，该印刷电路板11的焊点区12包含多个第一电源焊垫组15，如图2-1显示数量为两组，分别为P1与P2 ；每一个第一电源焊垫组15包含多个电源焊垫150，且同一第一电源焊垫组15的电源焊垫150彼此电性连接，如图2-1显示的P1J2两个不同的第一电源焊垫组15分别包含四个P1电源焊垫150与四个P2电源焊垫150，其中四个同一组的P1电源焊垫150彼此电性连接，四个另一组的P2电源焊垫150彼此电性连接；该些第一电源焊垫组15可设置于该焊点区12的预设位置，例如图2-1显示其沿着圆形印刷电路板11的圆心呈环状排列。该印刷电路板11的输入区14则包含对应该些第一电源焊垫组15的第二电源焊垫组16，如图2-1显示数量为两组，分别为P\、P’2 ；每一第二电源焊垫组16包含多个电源焊垫160，且同一第二电源焊垫组16的电源焊垫160彼此电性独立，如图2-1显示的P’ ^ P’ 2两个第二电源焊垫组16分别包含四个P’ ！电源焊垫160与四个P’ 2电源焊垫160，且四个P’ ！电源焊垫160彼此电性独立，四个P’ 2电源焊垫160彼此电性独立；并且，焊点区 12的每一第一电源焊垫组15 (电源焊垫150)与输入区14的每一第二电源焊垫组16(电源焊垫160)彼此电性绝缘。第二电源焊垫组16传输直流电流，当然该直流电流由测试机提 {共。承前所述，由于本专利技术的探针卡本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于探针卡的印刷电路板，其特征在于，所述印刷电路板定义一焊点区（１２）、一走线区（１３）以及一输入区（１４）；所述焊点区（１２）包含多个第一电源焊垫组（１５），每一所述第一电源焊垫组（１５）包含多个第一电源焊垫（１５０），且同一第一电源焊垫组（１５）的所述多个第一电源焊垫（１５０）彼此电性连接；所述输入区（１４）包含对应所述多个第一电源焊垫组（１５）的多个第二电源焊垫组（１６），每一第二电源焊垫组（１６）包含多个第二电源焊垫（１６０），且同一第二电源焊垫组（１６）的所述多个第二电源焊垫（１６０）彼此电性独立；其中，所述多个第一电源焊垫组（１５）绝缘于所述多个第二电源焊垫组（１６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏文彬，谢昭平，简志忠，张庚生，张嘉泰，林书侃，黄千惠，张忠义，何家齐，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]