【技术实现步骤摘要】
本 技术涉及氩气流量调节装置，具体为一种用于直拉法生产太阳能用硅单晶过程中使用的氩气流量自动调节装置。
技术介绍
在直拉法生产太阳能用硅单晶的过程中，需要采用氩气进行保护，因而氩气流量自动调节装置为必不可少的设备之一，而且它的操作好坏对硅单晶的质量和成本有较大的影响。目前普遍应用的氩气流量调节装置多由III型仪表组成，该种配置仅适用于一种压力下的流量调节，而且流量调节非常不稳定，不能满足使用工艺要求，所以均在管道上增加一手动截止阀，需要手动调节。其存在的缺点包括1、操作不便，工艺过程调节次数多；2、 不能及时观测单晶炉内部压力并实时做出相应调控；3、工艺操作的随机性大，人为因素影响较大。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，使之能够实时监测单晶炉内部压力，并依据压力对氩气流量做出合理的自动调节，从而解决上述
技术介绍
中的缺点。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括控制装置、吹氩装置本体、压力传感器、流量调节装置和单晶炉，所述吹氩装置本体与所述单晶炉相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述单晶炉内。作为一种改进，所述控制装置为CPU，可以接收压力传感器采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置进行调控。作为一种改进，所述流量调节装置为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对吹氩装置本体的氩气输出速度...
【技术保护点】
１．一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括控制装置、吹氩装置本体、压力传感器、流量调节装置和单晶炉，其特征在于：所述吹氩装置本体与所述单晶炉相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述单晶炉内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王增荣，李斌，郝俊涛，王飞，黄少华，赖汝萍，黄鲁生，钟贵琪，林增标，林海萍，黄云增，黄斌，林德彰，杨峰，王县，
申请(专利权)人：江西神硅科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36
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