一种GPON模块基本单元和其制造方法技术

本发明专利技术属于微电子器件技术领域，本发明专利技术公开了一种GPON基本单元和其制造方法，一种基于半导体晶圆封装技术制作GPON模块基本单元的方法，包括：利用成熟的半导体干法和湿法刻蚀、电镀、键合、转移技术等微电子加工工艺和封装技术，形成GPON模块基本单元。用此种方法制作的GPON模块基本单元较分立器件组合而成的模块制作成本低、可大规模生产，可取代传统的GPON模块应用于光网络中，加工工艺与现有微电子工艺兼容。??

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子器件
，尤其涉及一种GPON(Gigabit-Capable PON)模 块基本单元和其制造方法。
技术介绍
GPON技术起源于1995年，PON是英文“无源光网络”的缩写， GPON(Gigabit-Capable PON)最早由全业务接入网论坛 FSAN(Full Service Access Networks)组织提出。2001年，FSAN启动了一项标准工作，旨在规范工作速率高于lGb/s的 PON网络称为Gigabit-Capable PON(GPON)。GPON除了支持更高的速率之外，还要以很高 的效率支持多种业务，提供丰富的功能和良好的扩展性。GPON技术支持完善的OMCI管理机 制，可远程配置、业务下发、升级等，有效提高运营商的部署效率。GPON的综合建网成本优于EPON (ΕΡ0Ν 以太无源光网络)，2010年，三网融合和运 营商全业务运营带来的竞争动力成为中国光纤接入FTTX (Fiber-to-the-x)发展新的驱动 力，同时广电网络双向改造、物联网、云计算等新应用领域都将带来GPON网络更广阔的应 用前景。运营商的重视以及FTTX的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＧＰＯＮ基本单元，其特征在于包括硅基光平台（１０１）、光波导（１０２）、１３１０ｎｍ波段激光器（１０３）、反射镜（２０２）、１４９０ｎｍ波段探测器（１０４）、背光探测器（１０５）、分波／合波器（１０８）、用于光纤固定的Ｖ型槽（１０７）和用于电气连接的金属焊盘（１０６）；所述１３１０ｎｍ波段激光器（１０３）、反射镜（２０２）被埋入硅基光平台（１０１）中，所述１３１０ｎｍ波段激光器（１０３）、反射镜（２０２）、１４９０ｎｍ波段探测器（１０４）分别与光波导（１０２）耦合；所述光波导（１０２）、１３１０ｎｍ波段激光器（１０３）、反射镜（２０２）、１４９０ｎｍ波段探测器（１０４）、背光探测器（１０５...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万里兮，刘丰满，李宝霞，陈少武，
申请(专利权)人：成都锐华光电技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：90